中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima #9190695 を販売中

ID: 9190695
ウェーハサイズ: 12"
System, 12".
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultimaは、エッチング、成膜、移植などの複雑なプロセスを敏感な基板上で実行するように設計された最先端のエッチングリアクターです。これは、卓越した安全性と清潔さを提供するために、複数のエンクロージャによって保護されています。AMAT Centura Ultimaの最新バージョンは、200 mmと300 mmのウェーハサイズの両方を処理するように設計されており、お客様はプロセスに合わせたソリューションを選択できます。この原子炉は、単段システムと比較して、より一定の圧力と清浄度を維持する独自の2段式真空システムを備えています。これにより、マイクロエレクトロニクスやMEMSの生産に必要な重要なプロセスに適しています。アプライドマテリアルズCentura Ultimaは、さまざまなプロセスに適した複数のサイズと構成で提供されています。複数のガスインジェクタと加熱ゾーンにより、プロセス環境を正確に制御できます。この原子炉はまた、高純度の測定チャンバーを提供しており、プロセスをリアルタイムで正確に監視するのに役立ちます。さらに、プロセスチャンバー内の温度と圧力を正確に調整して最適な結果を得ることができます。性能面では、Centura Ultimaはガスの流れの正確な制御とプラズマの均一性を提供します。これにより、エッチング負荷が大幅に低減されるため、お客様はプロセス条件を大幅に低減し、高いエッチング率を実現できます。原子炉均一性も向上し、基板の全領域にわたってプロセスが均質であることを確認します。応用材料/アマット/応用材料Centura Ultimaは、市場で最も先進的な原子炉の1つです。お客様は、高度な2段階真空システム、正確な温度と圧力制御、一貫したプラズマ均一性の恩恵を受けています。また、2つのウェーハサイズのいずれかを選択して、特定のプロセスに合わせたソリューションを作成することもできます。これらのすべての機能により、AMAT Centura Ultimaは敏感なマイクロエレクトロニクスやMEMS製造に最適です。
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