中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima #9189699 を販売中

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ID: 9189699
ウェーハサイズ: 8"
CVD System, 8" ETO Generator.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultimaは、物理蒸着(PVD)による薄膜の沈着用に設計された原子炉です。AMAT Centura Ultimaは、AMATによって開発されたPVDシステムの最新ラインであり、最高品質の薄膜を作成するための高度な技術を備えています。装置はPVDの源、部屋および基質のマニピュレーターの3つの主要な部品から成っています。PVDの源は沈殿させるべき材料を収容する真空の部屋です。低圧でチャンバーにガスを注入し、材料を数百°Cまで加熱して材料を基板に蒸発させます。チャンバーはAPPLIED MATERIALTS Centura Ultimaの主体であり、システムの残りの部分からソースを保護するためのシールドを提供します。チャンバーは通常大気圧であり、基板マニピュレーターがあります。基板マニピュレータは、基板と堆積材料と直接相互作用するユニットの部分です。基板マニピュレータは、堆積のために互いに相対的に基板と堆積材料を移動する責任があります。Centura Ultimaは、薄膜成膜のための最先端かつ効率的な方法を提供するために構築されています。機械の様々な部品を慎重に設計し実装することで、薄膜を10nmの薄膜として均一な層に堆積させることができます。ソースは、高い蒸着速度を提供するために最適化されており、利用可能な最高のスループットを確保し、費用対効果の高いオペレーションを確保します。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultimaの追加機能は、コスト効率とユーザーの利便性に貢献するウェーハサイズの自動調整と、プロセスを簡単に最適化するための柔軟なレシピツールです。最後に、AMAT Centura Ultimaは信頼性とメンテナンスが容易であるように設計されています。アクセス性の高いチャンバー設計と複数のビューポートを提供することで、メンテナンスを迅速かつ安全に行うことができます。シールドサセプタジェネレータは、最適なパフォーマンスとダウンタイムを確保するために、ユーザーが簡単に交換することもできます。アプライドマテリアルズCentura Ultimaは、業界をリードする性能、信頼性、利便性を提供する次世代の薄膜蒸着システムです。Centura Ultimaは、最適化されたソースと10nmの薄膜を堆積する能力を備え、薄膜堆積ニーズに対応する完全なソリューションを提供します。
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