中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima #9157680 を販売中

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ID: 9157680
HDP CVD System (3) HDP CVD Chambers Ultima+ ENI Generators NOVA50A GHW50A.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultimaは、金属と誘電体の蒸着用に設計されたフル機能のマルチチャンバー化学蒸着(CVD)リアクターです。アルミニウム、シリコン、チタン、タングステン、銅など多種多様な材料を堆積することができます。この装置には、自動化された圧力制御システム、高度な監視ユニット、および使いやすさのための直感的なユーザーインターフェイスが装備されています。Ultimaには、最適かつ再現可能な蒸着プロセスを保証するために、特許取得済みの超精密電圧制御インピーダンスマッチング(VCIM)マシンも含まれています。この原子炉のマルチチャンバー設計とモジュラープラットフォームは、比類のない柔軟性を提供し、ユーザーが各チャンバーに異なるプロセスとパラメータを適用して、特定のアプリケーションの表面親水性、接着、およびバリア特性を調整することができます。統合された温度調節器およびガスの流れのための多数の源はユーザーが蒸着率、熱配分および均一性を正確に制御することを可能にします。さらに、Ultimaは低い電気接触抵抗、高められた粒子のろ過、および最先端の安全機能を提供します。Ultimaはカスタムデザインの発熱体を備えており、均一な熱伝達と最小限の熱勾配を保証します。熱素子は、最大950ºCまでの温度範囲を向上させ、堆積プロセスの柔軟性を向上させます。高度な監視と自動化された圧力制御により、ユーザーは一貫したパラメータと再現性のある結果を保証できます。Ultimaの大きな利点は、特許取得済みのVCIMのおかげでノイズを最小限に抑えることです。このツールはまた、メンテナンスの削減を支援し、より安全で信頼性の高い堆積環境を作成します。Ultimaはまた、自動化されたカセットツーカセットモーションとツールレスアクセスドアにより、ウェハローディングとアンロードを簡素化します。これにより、チャンバーローディングとアンロードの間の迅速かつ簡単な遷移が保証され、時間を節約し、エラーを減らすことができます。さらに、空気圧式の絶縁バルブにより、原子炉の未使用の部分を絶縁し、チャンバーの積み下ろしをさらに合理化します。全体として、AMAT Centura Ultimaは、アルミニウム、シリコン、チタン、タングステン、銅などの材料に理想的な堆積資産です。高度なモニタリングモデル、自動化された圧力制御、直感的なユーザーインターフェイス、特許取得済みのVCIM機器などの機能により、ユーザーは堆積プロセスと機器の信頼性を向上させることができます。Ultimaはまた、最大950ºCおよび低電気接触抵抗の向上した熱範囲を提供し、粒子ろ過の強化と安全なローディングとアンロードにより、最大限の柔軟性と保護を実現します。
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