中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima #9137477 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultimaは、製造プロセスを合理化する高度なプラズマエッチング/クリーンチャンバー機器です。このシステムは、高真空室、無線周波数（RF）発電機、プラズマ源などから構成されています。プラズマソースは、トップチャンバーに取り付けられたバロールトーチです。Balor/Balor Ultraダブルエンドのデュアル環状リング設計で、ノズル冷却用の最大16個の化学配送ポートを備えています。このチャンバーには、バロートーチの動作を指示するプラズマアセンブリがあり、プラズマ生成変圧器と水素アルゴン化学供給ユニットが含まれています。RFジェネレータは、プラズマ源を活性化するためのエネルギーを提供します。RF電源は様々な構成にすることができ、チャンバーにはプラズマ圧力を低減し、RF電力使用率を向上させ、エッチングの均一性を向上させるセクストゥポール磁界発生器があります。チャンバーには、均一なエッチングパターンを確保するための包括的なコンポーネントが装備されています。内部を清潔に保ち、汚染物質を含まないようにするために、排気ファンとフィルター機は高速クリーンな空気を循環させ、残留粒子と生成粒子を除去します。AMAT Centura UltimaにはMRP IIガステクノロジーツールが装備されており、チャンバー内のガスの流れを最大5つのガスラインで配信および制御できます。この機能により、異なる基板間でのエッチング速度をより安定したものにすることができます。チャンバーにはオプションのヘリウム（He）バックサイド冷却パッケージがあり、絶縁チョークの損傷とその後の過剰エッチングを防ぐために温度の制御を容易にします。フロントローディングロボットは、チャンバーを介して基板を簡単かつ安全に転送する方法を提供し、チャンバーはメンテナンスや交換のためにすべてのコンポーネントに簡単にアクセスできるように設計されています。チャンバーは堅牢なキャビネットに囲まれており、過酷な生産環境に耐え、人員の安全を確保するために強く構築されています。APPLIED MATERIALS Centura Ultimaは、高性能なエッチング/クリーンツールです。非常に均一なエッチプロファイルと再現性の高い結果を提供できる信頼性と汎用性の高い資産です。効率的なガス供給モデルと高性能RFジェネレータにより、ユーザーは高精度のエッチングとクリーニングを実現し、高度なコンポーネントとカスタマイズ可能な設計により、ユーザーは特定のニーズやプロセスに合わせてカスタマイズすることができます。