中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima #9087848 を販売中
この商品は既に販売済みのようです。下記の同じようなプロダクトを点検するか、または私達に連絡すれば私達のベテランのチームはあなたのためのそれを見つけます。
タップしてズーム
販売された
ID: 9087848
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2009
HDPCVD System, 8"
Wafer shape: SNNF
SMIF Interface: No
Narrow loadlock
(3) Ultima STD chambers
Chamber information
Chamber A:
Ebara ET1600W turbo pump
Chamber B:
Ebara ET1600W turbo pump
Chamber C:
Ebara ET1600W turbo pump
System monitor:
First monitor: Through the wall
Second monitor: Stand alone
Mainframe information:
System placement: Stand alone
Robot type: HP Robot
Robot blade: Ceramic
Loadlock wafer mapping: Enhanced
N2 Purge type: STEC 4400MC
Gas delivery options:
MFC type: STEC 4400MC
Valves: Veriflow 10 Ra Max
Filters: Mott
Transducers: MKS w/o display
Regulators: Veriflo
Single line drop
Top SLD gas line feed
Gas panel door: Safety wired glass
Top system cabinet exhaust
MFC:
Chamber A:
Gas #1: O2 400 sccm
Gas #2: AR 300 sccm
Gas #3: SIH4 200 sccm
Gas #4: SIH4 100 sccm
Gas #5: AR 50 sccm
Gas #6: SIH4 30 sccm
Gas #7: SIH4 10 sccm
Gas #8: NF3 2 slm
Gas #9: AR 2 slm
Chamber B:
Gas #1: O2 400 sccm
Gas #2: AR 300 sccm
Gas #3: SIH4 200 sccm
Gas #4: SIH4 100 sccm
Gas #5: AR 50 sccm
Gas #6: SIH4 30 sccm
Gas #7: SIH4 10 sccm
Gas #8: NF3 2 slm
Gas #9: AR 2 slm
Chamber C:
Gas #1: O2 400 sccm
Gas #2: AR 300 sccm
Gas #3: SIH4 200 sccm
Gas #4: SIH4 100 sccm
Gas #5: AR 50 sccm
Gas #6: SIH4 30 sccm
Gas #7: SIH4 10 sccm
Gas #8: NF3 2 slm
Gas #9: AR 2 slm
50/60Hz, 208V, 320A, 100MA
2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultimaは、超高スループットと超長寿命性能を備えた複雑なプロセス操作を実行するように設計された先進的なナノ科学研究炉です。このシステムは、高精度で高スループットのマルチチャンバーリアクターを備えており、高プロセススループットの材料を正確かつ正確に堆積させ、再現性のある低コストの結果を提供します。この原子炉は、調整可能なガス流量と圧力制御を備えたガスミックスを使用しており、1000Mbarの動作圧力範囲と0。0005分解能を備えています。また、汚染リスクを最小限に抑えるように設計された堅牢で密閉されたチャンバーを備えているため、迅速かつ簡単に洗浄できます。このチャンバー設計は、薄膜プロセスと層状プロセスの両方において、蒸着の均一性を最適化すると同時に、他の厳密に制御された環境に影響を与えるノイズと振動を最小限に抑えます。この原子炉には、高解像度カメラやマイクロ波ガスアナライザなどのin situ diagnosticsと制御システムが搭載されており、蒸着プロセスの自動的な正確な制御と監視が可能です。プロセスを迅速かつ正確に診断する機能により、ユーザーは問題を迅速かつ正確に解決できます。チャンバーも機械的に調整可能で、異なるパラメータの調整とプロセスの最適化を可能にします。AMAT Centura Ultimaは、幅広いナノ材料および基材との互換性を目的として設計されており、柔軟な成膜の利点を提供します。このシステムは、低粒子環境と最適な温度安定性を確保するクラス3クリーンルーム環境を備えています。また、顧客アプリケーションの革新的なAMATサポートされたプログラム、ナノ材料の研究コラボレーションとトレーニングが付属しています。ターゲットホルダーや堆積源などのすべてのコンポーネントは、ユーザーの要件に応じて調整および交換可能であり、ナノ材料固有の処理ニーズを満たすことができます。この汎用性の高い原子炉は、幅広い研究開発ニーズに対応する信頼性の高い強力なプラットフォームであることが証明されており、究極のレベルの性能を提供しています。APPLIED MATERIALS Centura Ultimaは、汎用性の高い設計と信頼性の高い反復可能な結果を備えた、先進的なナノ科学研究のための貴重なツールです。
まだレビューはありません