中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima X #9229987 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Xリアクターは、半導体産業における化学蒸着（CVD）プロセスやその他の高度な化学プロセスに特化したツールです。AMAT Centura Ultima Xは、高度なソフトウェアアルゴリズムを搭載したPro- Liner™技術などの独自の機能を備えており、反復可能で均一な蒸着を可能にします。Pro- Liner™機能により最大の蒸着効率が達成され、チャンバー全体で正確な軌道と均一な圧力プロファイルが保証されます。Ultima Xはまた、プロセス源とチャンバ間の独自に設計された亜大気圧差動を利用しており、プロセス効率と均一性を向上させます。直感的な7インチフロントディスプレイとグラフィカルユーザーインターフェイスは、プロセスパラメータとチャンバー圧力のリアルタイムフィードバックを提供します。マルチタスク機能により、複数のプロセスを同時に実行できます。APPLIED MATERIALS Centura Ultima Xは、4つの独立した熱帯域を提供しており、ユーザーはチャンバーコンディショニング、コンポーネント/ツールの検証、ケミカルアンプ、および複数の処理を実行できます。4つのゾーンすべての熱範囲は通常よりも広いため、温度やプロセス化学物質の変化に応じてウェーハを処理する際の精度と再現性が向上します。Ultima Xには、0。5°Cの範囲内の温度を正確に制御できる精密な温度制御装置が装備されています。さらに、原子炉は高精度のフロー制御を提供し、プロセス化学物質の正確な投与量を確保するのに役立ちます。Centura Ultima Xは、プロセスチャンバー径64。5インチ、プロセスチャンバー深さ23。3インチ、最大プロセス温度800°C、最大プロセス圧力10 Torrなどの優れた仕様を提供します。パワーシステムは2つの6kW磁石で構成されており、プロセスチャンバーの高速加熱と冷却を可能にします。さらに、原子炉は最大ガス流量12000リットル/分、最大BTU/時 2。475を提供します。Ultima Xは、プロセス条件を監視し、残留プロセス/化学物質をチャンバから自動的にパージするクリーンチャンバーサイクルモードと、圧力、温度、ガスの流れを監視するアラームユニットを備えた最大の安全性を目的に設計されています。この原子炉には、さまざまな安全機能が組み込まれており、危険なプロセス手順の間にユーザーがチャンバーに入るのを防ぐ自動インターロック装置があります。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Xは、CVDやその他の高度な化学プロセスに最適で、優れたプロセス効率、再現性、均一性を提供します。その直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスはユーザーフレンドリーになり、高度な機能は最大限の安全性と精度を提供します。効率的な熱範囲と正確なフロー/温度制御により、AMAT Centura Ultima Xは優れたプロセス結果を提供できます。