中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima X #9220219 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima X Reactorは、半導体産業における大量の蒸着およびエッチング用途向けに設計された最先端の処理装置です。大面積の熱処理チャンバをコンパクトなシステムに統合し、スループットの向上とコスト効率の向上を実現しています。このIndustyをリードする、統合された原子炉ユニットは、高度なプロセス技術において最高の均一性、スループット、歩留まりを提供します。AMAT Centura Ultima X Reactorマシンは、15-x-15x-2インチの大面積の熱処理室を備えています。このプロセスチャンバーは、従来のリアクタと比較して、より高いスループットを可能にする大きなウェーハ基板を処理するように設計されています。これは、過酷かつ低温の堆積物とエッチングプロセスの両方で最適な性能を得るために調整されています。このチャンバーには高速サンプルのロード/アンロードポートが装備されており、ウェーハを安全で制御された環境に保ちながらサンプルの迅速なターンアラウンドを可能にします。また、0。1°Cの精度を持つ独立したチャンバー温度制御、高速周波数スイッチング設計、容量性圧力制御バルブなど、幅広い技術を備えています。さらに、プロセスチャンバーは最大8つのガス入力で構成することができ、さまざまなプロセス要件に対応する柔軟性を提供します。APPLIED MATERIALS Centura Ultima X Reactorは、優れた均一性とスループットで高品質の成膜とエッチング処理を提供するように設計されています。高度なマルチエッチング技術により、熱予算を低減しながら、成膜とエッチングの均一性を大幅に向上させます。処理資産は、高いスループット生産を要求する高度な半導体プロセスに適しています。また、過圧、サンプル回転、ボトムアイソレーションなどの多くの安全機能を備えており、汚染のリスクを低減します。原子炉の高度な性能に加えて、便利なオートメーションパッケージも付属しています。このパッケージには、柔軟で使いやすい直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）とプロセスレシピの広範な診断機能が含まれており、ユーザー固有のニーズに合わせてカスタマイズできます。Centura Ultima Xは、診断ツールや計測ツールも幅広く提供しています。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima X Reactorは、高度な半導体市場におけるプロセスのニーズに適した強力で信頼性の高いモデルです。そのコンパクトなデザイン、先進技術、使いやすさは、多くの業界で人気のある選択肢となっています。AMAT Centura Ultima X Reactorは、革新的な熱設計、弾力性のある性能、およびコスト効率の高い生産により、高品質なプロセスの均一性とスループットを実現する究極のソリューションです。