中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima X #9200053 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima X
ID: 9200053
ウェーハサイズ: 12"
CVD System, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Xは、幅広い半導体製造プロセス向けに設計された、高性能、柔軟性、費用対効果の高いエッチングリアクターです。この原子炉は、低エッチング温度と高エッチング速度、および高温安定性と再現性の利点を提供します。Ultima Xは、環境に配慮した設計と先進的な機器部品により、大量生産のニーズに応えるように設計されています。Ultima Xは、プロセス温度とバブルポイントの両方の均一性のために設計された、加熱された蓋を備えた3ゾーンの加熱チャンバーを備えています。反応ガス処理システムは、重要なガス部品の正確かつ正確な配送を保証し、高度なリモート診断モジュールはリモート監視を可能にします。また、Ultima Xは、精密なガス流量制御を可能にするPrecise Despense計量技術を備えており、エッチングプロセスを最小限に抑えることができます。Ultima Xは、Etch Releaseを含むさまざまなエッチング戦略を使用して、選択性の向上とプロセス制御の向上を実現します。リアクタのモジュール設計により、メンテナンスと再構成が容易になり、従来のエッチツールよりも柔軟性が向上します。さらに、原子炉は、統合された安全機能とプロセス検証ツールを備えた非常に低いダウンタイムとメンテナンスのために設計されています。さらに、Ultima Xは、ダウンタイムの短縮、スループットの向上、バッチプロセス制御の改善など、さまざまな利点を提供します。統合監視ユニットは、強化されたプロセス制御とリアルタイム診断を提供し、支援ソフトウェアモジュールは精度、一貫性、再現性を保証します。また、原子炉はAMAT独自のProcess IQソフトウェアを使用しており、バッチ制御と高度なプロセス制御が可能です。結論として、AMAT Centura Ultima Xは大量生産用に設計された先進的なエッチングリアクターです。この原子炉は、低エッチング温度、高エッチング速度、高温安定性、および精密なガス流量制御など、さまざまな利点を提供します。さらに、統合監視機、ソフトウェアモジュール、プロセスIQソフトウェアを備えています。
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