中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima X #100131 を販売中

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ID: 100131
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2006
CVD HDP system, 8" (3) Ultima X HDP chambers 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Xは、高度な半導体アプリケーション固有の成膜ツールです。このマルチレーンの次世代原子炉は、高度な技術ノードと重要なアプリケーションの要件を満たすように設計されています。成膜装置は、高度で高精度なフィルム品質を提供し、プロセスの正確な制御と再現性を可能にします。AMAT Centura Ultima Xはマルチチャンバー設計を提供し、各チャンバには独自にプロセス制御が可能です。これにより、ユーザーは適切な堆積プロセスパラメータを選択できます。高速マルチゾーンRF発電機を搭載し、これまでにない柔軟性とフィルム歪みを低減します。Ultima Xは、急速な熱処理やアニール処理など、幅広い熱処理能力を提供します。さらに、最も複雑なフィルムでも最高のフィルム性能を得るために、高度なモーションコントロールとプロセスモニタリングスイートを装備しています。それは機械の性能変数の広範囲の監視を含んでいます;温度および圧力、またプロセスガスの広い範囲。Ultima Xは、ガスセンサ、マスフローコントローラ、熱電対などのさまざまなセンサとモニタのコラボレーティブなアプローチを利用して、蒸着プロセスで最高レベルの制御と品質を保証します。Ultima Xには、蒸着プロセスとパラメータの両方を正確に制御するための高度なプロセス制御ソフトウェア、および監視およびアラーム管理が付属しています。このソフトウェアは、生産プロセス全体にわたって高いレベルの反復可能な性能を保証するように設計されています。さらに、このソフトウェアには、統計プロセス制御ツールの包括的なスイートがさらに装備されています。これにより、蒸着プロセス中に条件がどのように変化するかをグラフィカルに表示することができ、フィルムとデバイスのパフォーマンスを最適化するために簡単に調整することができます。このツールは、低コストで高品質のフィルムとコンポーネントに最高の品質管理、予測可能性、再現性を提供するように設計されています。APPLIED MATERIALTS Centura Ultima Xを使用すると、高度な効率と品質管理による正確なプロセス制御が、リソースとテクノロジーの究極の組み合わせで保証されます。Ultima Xは、蒸着プロセスが常に効率と品質に最適化されるようにするための効果的なツールです。
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