中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus #9070889 を販売中
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販売された
ID: 9070889
ウェーハサイズ: 8"
HDP Chamber, 8"
DCVD Centura 1.x
Currently still attached to tool
RF Generator racks are still connected to tool and chambers
SMC heat exchanger is disconnected but still in facility area
Includes:
Gas pallet
Gas lines
Chamber interconnects
Chamber umbilicals and HX
ETO rack.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plusは、半導体製造プロセスで使用する画期的な高度な成膜ツールです。このツールは、最適な効率と性能のために設計されており、原子レベルで幅広いデバイスや構造を生成することができます。AMAT Centura Ultima Plusは、優れたステップカバレッジ、製品の信頼性、最終製品の信頼性を実現しながら、優れたフィルム成膜の均一性を提供するデュアルビームソースを備えています。また、PureFilm Process Control (PPPC)装置、超精密蒸着制御技術を採用し、優れたAMAT均一性を提供します。アプライドマテリアルズCentura Ultima Plusは、独自のマルチステージディスクリート蒸着システムである高度なRockCliff™プラットフォームを搭載しています。このツールは、複数の自動化されたステップを使用して、広い領域で均一で正確なフィルムを生成します。これらのオートメーションステップには、各ステップポイントでターゲット種の特定の同時再循環が含まれ、均一なフラックスと均一なフィルムカバレッジが保証されます。Centura Ultima Plusには、蒸着プロセスの複数のステップを管理するためのプロセスコントロールユニット(PCS)もあります。PCSはプロセス変数とパラメータを常に監視し、最適なプロセス実行を保証します。このマシンは、特定の堆積プロセスに最適な性能を達成するために、プロセスパラメータの完全な調整と制御を可能にします。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plusは、1000°Cまでの温度を可能にするナノ加工熱源を備えています。この高温は、最適なステップカバレッジと均一性を得るために必要です。さらに、AMAT Centura Ultima Plusには、均一なカバレッジと信頼性の高いフィルムを確保するために、ツール内のウェーハの動きを正確に制御する高精度のロボットアームも装備されています。全体的に、APPLIED MATERIALTS Centura Ultima Plusは、堆積プロセスの厳しい要件を満たすように設計されています。高度なデュアルビームソースと高精度ロボットアーム制御により、高いスループットを提供しながら優れた性能と信頼性を実現します。このツールは、高度な半導体製造プロセスのための優れたソリューションであり、高品質のフィルムと優れたステップカバレッジを生成することができます。
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