中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus #9046180 を販売中
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販売された
ID: 9046180
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1999
CVD, 8"
Main body:
3-Chamber
Signal tower: 3-Color
Door interlock sensor
Wafer OF type: Falt type
Process chamber:
Dome heater cooling type
Ceramic ESC: WTM
Top mount remote plasma
Generator type: ENI
Local match box
Heat exchanger: SMC
Dual IHC control
Main frame:
Loadlock body: Wide
Wafer sliding sensor
Cool chamber slot: 8-slot
HP Extend robot: One ARM
Gas panel:
Cabinet exhaust: Top
Single line drop
Gas line feed: Top
Monitor:
Third: Station
Maint: Others
Missing parts or Detaching parts list:
(3) Gas ring 0010-02616
(2) Silt valve plate 0010-20021
(1) TGV trottle valve 0020-12521
(1) RPS Al GAS line 0050-46867
(2) Ceramic dome 0200-18062
(3) TGV sol v/v ass'y 3870-01649
(1) Cold loop flow sensor
(1) NF3 MFC (2L)
(1) Top Ar MFC (50 sccm)
Packing list:
Main system
Power AC rack
Rf generator rack(eto)_1
Rf generator rack(eto)_2
Rf generator rack(eto)_3
Rf generator rack(eto)_4
Rf generator rack(eto)_5
SMC chiller
Monitor
Currently installed
1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plusは、集中した高品質の薄膜を製造するために設計された強力で完全に自動化されたハイスループットの化学蒸着（CVD）炉です。この装置は、超薄型誘電体、半導体、金属表面など、幅広い材料の成膜に最新のCVD技術を特長としています。このシステムは、高度なガスや温度制御などの最新のプロセス制御方法を利用して、スループットを最大化し、生産性と再現性を向上させます。さらに、新しいデバイスアーキテクチャを可能にするために、さまざまな新しいナノ構造やマイクロストラクチャーを生産することができます。機械の中心には、革新的なマルチゾーンCVDリアクター、単一の大きなバッチチャンバーを備えた3チャンバー設計があります。3〜8までの幅広いウエハサイズで、多様な材料を高均一に成膜することができます。このツールはまた、プロセス制御を改善するための粉末およびPLDソースの前駆体の両方を含む、成膜レシピの広い範囲を処理することができます。蒸着速度は、高度なガス供給システムと高速ウェーハ回転によってさらに最適化されます。AMAT Centura Ultima Plusは、CMCVDの特徴からパターン化されたワイヤまで、高精度の厚さ制御と複雑な構造形成も可能です。APPLIED MATERIALTS Centura Ultima Plusは、ウエハーの自動積み下ろし機能も備えており、高度な窒素パージ資産により、ウエハー汚染を避けるための超クリーンな環境を確保しています。さらに、先進的な光学機器を採用し、プロセス条件をリアルタイムで監視します。単一のCentura Ultima Plusをインストールすると、1日あたり数千のウェーハを処理でき、高度な排気処理と回収システムを実装することで歩留まりが最大化されます。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plusは、焦点を当てた高品質の薄膜、ナノおよび微細構造の製造に最適なシステムであり、材料複合材やナノ粒子ベースのアプリケーションの処理にも最適です。このユニットは、幅広い生産環境で非常に優れたパフォーマンスを発揮し、そのオートメーション機能により、プロセスの速度と均一性を最大化しながら、生産ラインに価値を提供します。
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