中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP #9221312 を販売中

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ID: 9221312
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
CVD System, 8" NBLL (3) Chambers STP-A2203 Turbo molecular pump ENI RF Generator 2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDPは、業界をリードする高密度プラズマ(HDP)原子炉です。この原子炉装置は、厳密な再現性を備えた幅広い材料と基板の加工と製造に興味のある方に最適な装置です。自動化された機能とユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、あらゆるプロセスサイズに最適なソリューションです。AMAT Centura Ultima HDPは、市場の他のHDPリアクタと比較して、ユニークな機能の組み合わせを提供します。最大圧力10 Torrと60 kHzのRF電源を提供し、幅広いプロセス条件に対応します。プラズマの均一性と材料の均一性を最大化するように設計されたAPPLIED MATERIALTS CENTURA ULTIMA+HDPは、2圧力マニホールドを備えており、プロセスガスの分離を可能にします。これにより、常に最適な制御と安全性を実現します。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ULTIMA+HDPは、構成と用途に応じて、6インチおよび8インチウェーハ、および4インチウェーハに対応できます。この原子炉システムはまた、多種多様なハードウェアとソフトウェアオプションを提供しています。高度なフォーカスマグネットとターゲットジェットにより、精密なプロセス制御と最適化されたプラズマ分布を提供できます。また、エンベデッドPCを搭載しており、リアルタイムの分析、レポート作成、制御が可能です。応用材料Centura Ultima HDPは、超高純度、ヘリウム、アルゴンなどのプロセスガスの大気と互換性があります。自動化された機能、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、さまざまなハードウェアおよびソフトウェアオプションにより、最も汎用性の高いHDP Reactorソリューションの1つです。このユニットは、精密なFocus MagnetとTarget Jetにより高度なプロセス制御を提供し、幅広いプロセスパラメータに対応するためにプラズマ分布を正確に最適化できます。結論として、CENTURA ULTIMA+HDPは業界をリードする高密度プラズマ原子炉機械であり、高い再現性を備えた幅広い材料と基板を加工および製造することができます。自動化された機能、2圧力マニホールド、ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、あらゆるプロセスサイズの最適な安全性と制御をユーザーに提供します。このツールは、さまざまなハードウェアおよびソフトウェアオプションに設定でき、プロセスガスのあらゆる雰囲気と互換性があります。高度なフォーカスマグネットとターゲットジェットにより、正確なプロセス制御と最適化されたプラズマ分布を提供し、プロセスパラメータの正確な最適化を可能にします。
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