中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP #9206450 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDPは、高度な半導体製造のために設計された次世代の高密度プラズマ（HDP）原子炉です。この原子炉は、汚染のリスクを最小限に抑え、所有コストを低減し、高品質のウエハを処理することができます。革新的な設計、高度な技術、高精度を組み合わせ、クラス最高のプラズマ性能を実現します。Centura UltimaのHDPプラットフォームは、さまざまなチャンバー構成とプロセス技術を採用しています。これらには、反応性イオンエッチング（RIE）、誘導結合プラズマ（ICP）、高密度プラズマ（HDP）プロセスが含まれます。HDPプロセスは2つの独立したエネルギー源を利用しており、そのうちの1つは1万℃を超える温度を達成できる高密度プラズマ源です。他のソースは、アッシングやプラズマ洗浄など、さまざまな大気プロセスに使用される汎用電源です。一貫したドーピングレベルを確保するために、AMAT Centura Ultima HDPは高度な深紫外線照明装置を採用しています。この深紫外線システムは、ドーピングレベルの変動を低減し、ドーピングプロファイルの再現性を高めます。さらに、Ultima HDP炉は最大7 Torrの拡張圧力範囲で動作することができ、これにより酸化物誘電層の処理が可能になります。HDP原子炉は、パラメータ制御にリアルタイムのフィードバックを提供するさまざまな現場監視システムを採用しています。このリアルタイム制御により、プロセスパラメータを迅速に最適化し、最高の生産性を保証します。また、高感度クリーンルームセンサーを内蔵し、低海岸化学検出機を使用して粒子やガスの存在を検出します。Ultima HDPリアクターは、最大効率のために設計されています。工程真空用の高効率ターボポンプ、各種工程・クリーンルーム監視システム、強力なモータードライブユニットを内蔵しています。さらに、このツールには冷却および加熱アセットが統合されており、パフォーマンスを損なうことなく幅広い温度範囲で動作できます。結論として、APPLIED MATERIALTS CENTURA ULTIMA+HDPリアクターは、市場でのHDPリアクターの最高性能を提供することができる高度で費用対効果の高いプラズマ処理モデルです。汚染のリスクと所有コストを最小限に抑え、高品質な結果を生み出すことができます。さらに、原子炉は最高の効率のために設計されており、最先端の監視システムと強力なモータードライブを備えています。この原子炉は、生産能力を次のレベルに引き上げたいと考えているあらゆる半導体製造施設に最適です。