中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP #9166056 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDPリアクターは、エッチングプロセス用途に使用される高度なプラズマエッチング炉です。この高密度プラズマ（HDP）リアクターは、エッチングの選択性、プロセスの均一性、生産性の向上により、高度なプロセス開発、生産、研究アプリケーションに最適なツールです。AMAT Centura Ultima HDPは、高出力の電子ビーム、高密度プラズマ発生器、ガス分配設計を備えた、大容量のパラレルプレート源を備えています。この強力な組み合わせは、精密なエッチングに使用され、複数のプロセス構成に対応することができます。統合されたプロセスパラメータは、優れた性能を保証するために厳密に検証されています。応用材料CENTURA ULTIMA+HDPは、堅牢で正確で高精度なエッチングプロセスをユーザーに提供します。立体構造をエッチングする機能があり、正確なプロセス結果を確保するための高い選択性を提供します。このエッチャーには、調整可能な圧力と流量を備えたクローズドループ制御システムがあり、すべてのプロセス設定を通じて信頼性の高い一貫性を提供します。APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDPは、研究環境と生産環境の両方のニーズを満たすように設計されています。この原子炉のチャンバーは、ウエハーの輸送と処理、急速なシロゲン冷却、AMATの先進的なプラズマソース技術などにも適応することができます。AMAT CENTURA ULTIMA+HDPには、ユーザーの利便性のための多くの機能があります。メンテナンス性が低く、長時間の予防メンテナンスが不要です。この原子炉は、装置の稼働時間の高レベルを達成し、任意のユーザーのための操作を容易にします。リアクタにはグラフィカルユーザーインターフェイスも付属しており、シンプルで直感的な操作が可能です。要約すると、CENTURA ULTIMA+HDP炉は、高品質で信頼性の高い結果を得ることができる汎用性の高い高度なエッチング炉です。この原子炉は、研究および生産アプリケーションの両方のニーズを満たすように設計されており、クローズドループ制御システムと柔軟なプロセス構成により、あらゆるアプリケーションに適しています。