中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP #145562 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP（高密度プラズマ）は、超高プラズマ密度を提供するように特別に設計された化学蒸着（CVD）原子炉です。この原子炉は幅広い能力を誇り、様々な用途で複雑な金属膜や誘電膜の成膜が可能です。Word Count： 169 AMAT Centura Ultima HDPは、CVD技術の最新の進歩を利用して、可能な限り最高の堆積率を提供します。この原子炉は、より高いレベルのプラズマ封じ込めとプロセスのより良い制御を提供するユニークな閉じたチャンバー設計に基づいています。HDPは、室内に高密度の電子サイクロトロン共鳴（ECR）プラズマ源を備えており、従来のプラズマ源の3倍のプラズマ密度に達することができます。このプラズマ密度が高いため、反応性と蒸着速度が向上し、蒸着時間が短縮され、スループットが向上します。さらに、HDPには、統合された蒸着均一モニタも装備されています。このモニターは、堆積プロセスがプリセット仕様内にあることを保証するのに役立ち、必要な調整を迅速かつ簡単に行うことができます。この均一性モニターは、複雑な成膜プロセスに高い歩留まりと再現性をもたらし、信頼性と安定した成膜フェーズをもたらします。また、HDP原子炉には独自の冷却装置が採用されており、プラズマから発生する熱を低減・分散させ、高濃度の堆積時にチャンバー内の温度を均一に保つことができます。この冷却システムは、蒸着ユニットの作業負荷を低減するのにも役立ち、再起動が少なく、メンテナンス間隔が長くなります。最後に、HDP原子炉には高度なプロセス制御と診断機能が装備されています。これにより、迅速かつ正確なチャンバー診断と堆積パラメータの調整が可能になり、堆積プロセスのパフォーマンスを最適化できます。この高度な制御機械は、堆積プロセスがピーク効率と歩留まりで実行されていることを確認するのに役立ちます。全体として、APPLIED MATERIALTS CENTURA ULTIMA+HDPは、最高レベルの技術を使用して、最高の蒸着速度、均一性、および信頼性を実現する先進的な原子炉です。この原子炉は幅広い用途に最適で、すべてのCVD蒸着プロセスに比類のない性能を提供します。ワード数：500