中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP CVD #9036577 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP CVDは、大規模な生産のために設計された高密度プラズマ（HDP）化学蒸着（CVD）原子炉です。この装置は、従来のCVDリアクタよりも10倍高速の蒸着速度を可能にし、高スループット生産を可能にします。システムのプロセスチャンバーには、プロセスコントロールユニット（PCU）のセットが装備されており、プロセスチャンバーの壁に埋め込まれています。PCUは、プラズマ強化化学蒸着中の蒸着均一性とプロセス制御を維持するのに役立ちます。プロセスチャンバーには2つの並列プラズマ電極があり、反応種の均一で均質な分布を維持するのに役立ちます。AMAT Centura Ultima HDP CVDユニットは、現場モニタリングマシンも備えており、プロセスを正確かつ即時に読み取ることができます。このツールは、圧力と温度を制御するためのデュアルフィラメントローディング資産を持っています。また、反応中間体の形成と測定を自動化してサポートしています。この原子炉はまた、最高レベルのプロセス制御性を提供するように設計された独自のin-situ温度および圧力プロファイル制御を備えています。このモデルは、蒸着中のプロセスチャンバー内の条件を微調整し、均一性と高性能を実現します。さらに、この機器は監視およびフィードバックシステムを構築し、最適化を促進しています。APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP CVDシステムは、信頼性が高く、金属、誘電体、ポリマー、有機物、その組み合わせを含む幅広い材料と互換性があります。ユニットは長寿命であり、何千時間も働くことができます。全体的に、Centura Ultima HDP CVDマシンは、優れた成膜均一性、高速成膜、およびプロセス制御を提供します。非常に効率的で信頼性の高いCVD成膜法であり、高スループット生産の要求に応えることができます。