中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Tectra #9086223 を販売中

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ID: 9086223
ヴィンテージ: 2003
MCVD system Process: TiN 2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Tectraリアクターは、プラズマ処理に使用される高度なエッチングクラスタツールです。エッチングおよび成膜用途において、さまざまな業界で正確かつ一貫したプロセス制御を提供するように設計されています。この原子炉は研究開発や大量生産に最適で、優れた性能と低ランニングコストを提供します。AMAT Centura Tectraリアクターには、Centura 3Dエッチングおよび蒸着ヘッドを含む最新のエッチングおよび蒸着技術を活用できる高度な機能セットが装備されています。このヘッドは、高温高圧プラズマ加工を可能にするために特別に設計されており、エッチングおよび蒸着プロセスを優れた制御が可能です。ヘッドはまた、温度極端と高圧に対応できる堅牢な構造を備えています。原子炉には、それぞれエッチングおよび蒸着アプリケーション専用の2つのメインポンプが装備されています。どちらも高性能モータによって駆動され、スムーズで効率的な動作を保証します。メインポンプは、高圧低圧ポンプや原子炉内の圧力を制御するための真空ポンプなど、いくつかの追加のポンプによって補完されます。さらに、APPLIED MATERIALTS Centura Tectraリアクターは高度なコントローラを備えており、エッチングおよび蒸着プロセスを簡単に操作および制御できます。このコントローラは、原子炉の温度、圧力、流量、電圧、および総電力入力を変更するために使用できます。また、コントローラを使用すると、エッチングと蒸着を実行する時間枠を調整することができます。Centura Tectraリアクターには、エッチングおよび蒸着プロセス中に追加のイオンを生成するために使用できるイオンソースモジュールも装備されています。このモジュールの高度な電源制御システムは、イオンが均等に分散され、均一なエッチング深度と蒸着パターンが得られることを保証します。イオンソースモジュールには、不要なガスやイオンをろ過し、エッチングおよび蒸着作業中の汚染を低減するように設計された複数のフィルタも装備されています。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Tectraリアクターは、エッチングおよび蒸着プロセスを高性能かつ優れた制御を提供する高度なエッチングクラスタツールです。堅牢な構造、強力なモーター、高度なコントローラにより、研究開発や大量生産に最適です。
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