中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Tectra #293675757 を販売中
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ID: 293675757
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
MCVD System, 8"
Load lock: A, B
HE (Heat Exchanger): Steel head
HP+ Robot
Wide body
SMIF
Chambers:
Chamber A: Ti (Ti-xZ)
Chamber B: TiN (TiN-xZ）
Chamber D: RPC+
Chamber E: 8 Slot cooldown
Chamber F: Orienter
Buff
Gases:
Chamber A: N2, H2, Ar, Cl2, Ar (Cl2 diluted), Ar (bottom purge), Ticl4
Chamber B: N2, NH3, Ar, Cl2, N2 (Cl2 dilution), Ar (bottom purge), Ticl4-L, Ticl4-H
Chamber D: H2, He, Ar, NF3
Dry pumps:
EBARA AA70W Chamber A
KASHIYAMA SD600PV-31 Chamber B
EBARA AA70W Chamber D
EBARA AA40W Buff
EBARA AA40W Load lock
Gas scrubber:
SHINKO SEIKI SW-50 ASM Chamber A
SHINKO SEIKI SW-50 ASM Chamber B
SHINKO SEIKI SW-50 ASM Chamber D
SYSCON Rack
Gen rack
Monitor rack
Chiller
Regulator box
Gas supply unit
HOT N₂ Controller
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Tectraは、様々な産業のニーズに応えるように設計された高度で汎用性の高い原子炉です。この原子炉は、薄膜成膜、表面改質用反応剤、およびその他のハイテク工程などの幅広い作業のための材料の堆積を容易にするように特別に設計されています。それはそれに優秀な熱および電気特性を与える超高密度グラファイトから成っています。真空熱処理装置を採用しており、精密な温度・流量制御、プロセスチャンバー周辺のガス循環、リアクタント蒸着用の高真空圧を実現するポンピングシステムが追加されています。この原子炉には、高度な加熱装置、冷却装置、およびプロセスの温度と流れを調節できる制御ツールも含まれています。また、静電容量式マッチング方式を採用した特殊なレベルセンサを搭載し、プロセスチャンバー内の液体レベルを正確に測定します。性能を向上させるために、原子炉には、電気エネルギー源、機械サポート、フィーダー、リアクタント供給資産用のアクセサリ、排気モデルなど、さまざまなアクセサリが付属しています。AMAT Centura Tectraリアクターには、防爆エンクロージャ、過圧保護バルブ、警告システムなど、さまざまな安全機能が搭載されています。高度な制御装置は、極端な動作条件下でもスムーズで信頼性の高い動作を保証します。APPLIED MATERIALTS Centura Tectraは、高性能リアクターを必要とするプロジェクトにとって効果的なソリューションです。その高度な設計と機能は、信頼性の高い動作、正確な温度制御、および安全性と性能基準の向上を保証するのに役立ちます。Centura Tectraは、材料の薄膜蒸着や表面改質を含むあらゆるプロセスに最適です。
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