中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Tectra TxZ #9117584 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Tectra TxZは、さまざまな高度な成長プロセスに柔軟性と拡張性を提供するマルチウェーハ処理装置です。これは、化合物半導体、太陽電池および光電子材料の適用のために設計された低圧、無線周波数スパッタリングシステムです。AMAT Centura Tectra TxZは、ウエハチェーン機能、最大10個のウエハー、自動化されたリソグラフィープロセス、および強化された材料組成物制御のためのさまざまなプロセスパラメータを備えた先進的な基板配送を提供します。効率的なオールインワン基板デリバリーとマルチウェーハ蒸着ユニットで、プロセスの柔軟性とスケーラビリティの向上に重点を置いています。アプライドマテリアルズCentura Tectra TxZには、2つのウェーハリフトロボット、ロードロック、高真空容器システム、および無線周波数電源が装備されています。また、プロセスガスおよび無線周波数パワーレベルを正確に校正し、最適な基板前処理、蒸着速度、および層均一性を実現します。ウェーハ間の干渉を排除するとともに、大規模なウェーハアレイでも高いプロセス再現性を実現します。このマシンは、リアルタイムのプロセス監視を含む包括的なプロセス制御機能によってサポートされています。Centura Tectra TxZはまた、より大きな分析研究とデータ分析機能のための広範なプロセスデータを提供します。このデータには、堆積速度、堆積厚、成長速度、温度勾配などの詳細が含まれています。高度なヒーターツールにより、ウェーハの温度を500°Cまで下げることができ、プロセスの最適化と生産時間とコストの大幅な削減を実現します。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Tectra TxZはまた、米国FDAによって設定された基準を含む、清潔さと安全性の幅広い要件を満たしています。AML （Automated Materials Lift）は正確なウェーハツーウェーハターンアラウンドを提供し、Wafer Chainingアセットはウェーハの位置決めとスループットを最大限に効率化します。AMAT Centura Tectra TxZは、半導体および光電子産業のニーズを満たすために、浅いトレンチ絶縁（STI）、低温酸化物（LTO）、 T構造、無線周波数（RF）およびその他の高度なプロセスを補完するように設計されています。