中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Super-E #9252317 を販売中
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ID: 9252317
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
Etcher, 8"
Install type: Thru-The-Wall (TTW)
Cassette interface:
(2) Narrow body load locks
Fast wafer mapping
Main tool:
Wafer handling robot
Signal lamp tower
Buffer lid open / Close assembly (Manual)
Wafer on blade sensor
Optical endpoint system
Chambers:
Ch-A, B, C, & D: Super-E oxide
Ch-E: Blank
Ch-F: Orienter
Chamber configuration:
EBARA 305W Turbo controller
EBARA ET300WS Turbo pump
Chamber: P/N 0010-39736 REV A
Electrostatic chuck
HERF Match
Slit liner door
Autobias
Chamber liner
Cathode
Gas box / Gas pallet:
Standard gas panel interface
MFCs: AERA FC-D980C
CO 300 SCCM
C4F8 20 SCCM (TYLAN FC-2900 On chamber C)
N2 20 SCCM
O2 100 SCCM
CF4 100 SCCM
CHF3 150 SCCM (TYLAN FC-2900 On chamber A)
ARS 200 SCCM (AERA FC-D980CS)
Gas connection
User interfaces:
Front side monitor and light pen base
System side monitor and light pen base
System controller:
Equipment rack: (4) ENI OEM-28B RF Generators (Ch-A/B/C/D)
Chillers included:
B/E AEROSPACE 1231-CCN-DI-001 Dual channel
ATS 1231-CCN-DI-001 Dual channel
Power supply: 208 VAC, 4-Wire, 3 Phase
CE Marked
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Super-Eは、優れた温度制御とプロセス制御を組み合わせた、最高の効率と信頼性のための洗練された設計です。この原子炉は、閉ループ再循環システムを使用して、容器内の一貫した温度を維持しながら、均一で再現性のある結果を提供します。ヒーターユニットは石英製で、他の材料と比べて最大3倍の耐久性と効率があります。この水晶ヒーター機械は電子的に調節可能で、セット・ポイントの広い範囲の精密で、平らな温度調整を提供します。ヒーターツールは、高密度の断熱材と再循環された熱輸送媒体によってさらに強化され、熱損失を低減します。プロセスチャンバーは、リアクタントの正確なボリュームを処理できるように設計されており、一貫性のある再現性のある結果を保証します。ふたは高い純度の水晶からなされ、プロセス気体と環境間の接触を最小にする独特なプロセス分離の機能と設計されています。プロセスチャンバーには、プロセスチャンバーから腐食性および有害な副産物を除去する高効率のガスクラバーも含まれています。標準インストールには、チャンバー内の環境条件を監視する包括的な監視および安全機能が含まれています。これには、プロセスの安全性を高めるためのプロセス化学物質、圧力、および温度のリアルタイム監視が含まれます。この資産には、潜在的なプロセスの問題をオペレータに警告する特別な警告モデルも含まれており、潜在的な壊滅的な事件を防ぐのに役立ちます。AMAT Centura Super-Eには、シームレスで正確なプロセス制御を可能にする自動プロセス制御ソフトウェアが含まれています。このソフトウェアにより、プロセスおよび製品パラメータの自動校正が可能になり、効率とプロセスの信頼性が向上します。この汎用性と耐久性のある原子炉は、あらゆる生産要件のニーズを満たすために、さまざまなサイズと構成があります。この装置は、最短時間で再現可能な結果を提供するように設計されており、メンテナンスが最小限に抑えられています。この優れた生産炉は、複雑で厳しい生産環境に最適です。
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