中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Super-E #9191047 を販売中

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AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Super-E
販売された
ID: 9191047
ウェーハサイズ: 6"
Etcher, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Super-Eは、マイクロエレクトロニクスデバイスの生産において高い歩留まりを提供するように設計された高度な400mm半導体ウェーハ処理炉です。この原子炉は、高密度で信頼性の高い集積回路に対する絶え間ない需要に応えるために、世界有数の半導体メーカーや最先端の大学と提携して開発されました。最先端のプロセスを利用して、原子炉は極端なエッチングの均一性、欠陥数の減少、および耐食性の向上のためのボイディングの減少によって特徴付けられます。AMAT Centura Super-Eは完全に自動化されたリアクタで、最大4つのウェーハを同時に処理できます。最も厳しい要件を念頭に置いて設計されたその高度なプロセスには、化学機械研磨(CMP)、反応イオンエッチング(RIE)、深紫外線(DUV)リソグラフィが含まれますが、これに限定されません。オールインワン炉は、高度なフィールドプログラマブルゲートアレイ(FPGA)の生産を可能にするために、適合テンプレートエッチング(CTE)や精密マスク登録(PMR)などの技術を備えています。加えて、APPLIED MATERIALS CENTURA SUPER EリアクターはAMAT独自のAMVantageTMソフトウェアプラットフォームを利用しています。この第3世代ソフトウェアスイートを使用すると、生産レベルのレシピとカスタムテイラードプロセスを開発できます。このリアクタにはクラスタツール構成も含まれており、ユーザーはCenturaを他のAPPLIED MATERIALS処理ツールのシステムに接続して高度なエッチング操作を行うことができます。AMAT CENTURA SUPER Eも安全性を念頭に建てられています。統合された漏出封じ込めシステムと排気ブロワーは、空中および液体の汚染物質からより大きな保護を提供し、優れた騒音低減機能により騒音を最小限に抑えます。オンボードモニターにより、Centuraの動作状態をリモートでプロセス制御および監視できます。Centura Super-Eは全体的に、高速で信頼性の高い正確な半導体ウェーハ処理を提供するように設計されています。その高度なオートメーションと弾力性のある設計により、高度なマイクロエレクトロニクスデバイスの高収量を生産するための理想的な選択肢となります。
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