中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Super-E #293776329 を販売中
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ID: 293776329
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Dry etcher, 8"
Process: Oxide
(4) Chambers
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Super-Eは、半導体製造プロセスの厳しい要件を満たすように設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。この最先端の装置は、エッチングとアッシングのプロセスを正確に制御することができ、製造メーカーはシリコンウェーハ上のデバイス製造のための厳しい仕様を達成することができます。AMAT Centura Super-Eシステムの主な特徴の1つは、幅広いプロセス化学および基板材料に対応する柔軟性と汎用性です。この適応性により、先進的なロジックデバイスからメモリチップ、オプトエレクトロニクスコンポーネントまで、さまざまなアプリケーションや材料に対応できます。異なるプロセスガスや化学物質との互換性により、製造メーカーはエッチング/アッシングプロセスを特定の要件に合わせて調整することができます。APPLIED MATERIALTS CENTURA SUPER Eには、プロセス実行のための制御環境を提供する高性能の真空チャンバーが装備されています。この真空機械はエッチング/ashingプロセスの間に汚染物および不必要な粒子の取り外しを保障し、基質の表面の完全性を維持します。このチャンバーの設計はまた、プロセス実行間の粒子発生とクロス汚染を最小限に抑え、一貫した信頼性の高い結果を保証します。このツールのプラズマ源は、基板の表面全体にわたって効率的かつ均一なエッチング/アッシングを可能にする重要なコンポーネントです。AMAT CENTURA SUPER Eは、優れた均一性と安定性を備えた高密度プラズマを提供する高度なプラズマ生成技術を搭載しています。この堅牢なプラズマ源は、材料の正確な除去とプロセスの均一性を保証し、サブミクロン分解能で高品質のエッチングパターンを達成するために不可欠です。プロセス制御と監視をさらに強化するために、Centura Super-Eは高度なプロセス監視アセットを備えており、主要なプロセスパラメータに関するリアルタイムのフィードバックを提供します。このモニタリングモデルにより、オペレータはリアルタイムでプロセス条件を最適化し、本番稼働全体にわたって一貫した反復可能な結果を保証できます。さらに、機器の統合されたエンドポイント検出機能により、プロセス手順の正確なタイミングが可能になり、材料除去率とエンドポイント判定に対する制御が強化されます。CENTURA SUPER Eは、業務ワークフローを合理化し、プロセス効率を向上させる高度な自動化機能も提供します。このシステムにはユーザーフレンドリーなインターフェースが装備されており、オペレータはプロセスレシピを簡単にプログラムおよび制御し、ユニットのパフォーマンスを監視し、プロセスデータを分析することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA SUPER Eのオートメーション機能は、手動介入を削減し、オペレータのエラーを最小限に抑え、半導体製造環境の全体的な生産性を向上させます。最後にAPPLIED MATERIALS Centura Super-Eは、半導体製造プロセスにおいて卓越した性能、精度、柔軟性を提供する最先端のエッチャー/アッシャーマシンです。その先進的なプラズマソース、真空チャンバ設計、プロセス監視機能、オートメーション機能により、高度な半導体デバイス向けの高品質エッチングおよびアッシングソリューションを求めるメーカーにとって理想的な選択肢となります。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Super-Eは、半導体製造におけるプロセス制御、信頼性、生産性の新しい基準を設定し、製造メーカーが半導体産業の進化する要求に自信を持って対応できるようにします。
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