中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura SA CVD #9116524 を販売中
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AMAT Centura® SA CVDは、応用材料によって設計および製造された化学蒸着(CVD)原子炉です。半導体デバイスや回路の製造に最も一般的に使用されます。CVDリアクターは、熱と気体反応剤の組み合わせを使用して、材料の薄膜を基板に堆積させ、半導体デバイスの形成を可能にします。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura® SA CVDリアクターは、正確で高収率の蒸着およびエッチングプロセスを提供するシングルウェーハ拡散炉です。この原子炉は、高度なパルス電源を使用して、高品質のフィルムを生成する信頼性の高い再現可能なプロセスを提供します。また、CVD炉では温度制御も非常に精密であり、1050°C (1922°F)までの温度に正確かつ制御可能です。原子炉室は、直流技術を利用して均一性と粒子制御を向上させるように設計されています。また、in-situモニタリング機能を備えているため、リアルタイムのプロセス監視を継続的に行うことができ、ユーザーは時間や材料を無駄にせずに必要な変更を行うことができます。原子炉の内部壁には、均一な堆積を確保するのに役立つ特殊な耐火材料がコーティングされています。AMAT Centura® SA CVDリアクターはまた、プロセスを迅速かつ簡単に変更するための統合された自動化および診断機能を提供します。原子炉の自動制御システムは、複数の蒸着チャンバを正確に制御し、プロセス時間と温度を監視し、必要に応じて調整することができます。さらに、原子炉は、あらゆる問題を検出できる高度な診断機能も備えており、迅速かつ簡単に調整できます。応用材料Centura® SA CVD炉は、最大の生産性と効率を提供するように設計されています。自動化された機能と正確な温度制御により、基板全体に均一な成膜が保証されます。直感的なソフトウェアは、複数の成膜チャンバーを迅速かつ簡単に設定、制御、監視するのに最適です。さらに、高度な診断機能は、コストのかかるダウンタイムを回避し、無駄を最小限に抑えてより大きな歩留まりを保証するように設計されています。
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