中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura RTP #9238454 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP （Rapid Thermal Processing）装置は、半導体ウェーハ処理用に設計された高度に自動化された原子炉です。この最先端のシステムは、正確な温度制限内でウェーハを急速に加熱および冷却することができます。アニールや酸化から窒化物層の急速な熱成長まで、さまざまなユニークな加工アプリケーションに必要な速度と精度を提供します。フォトレジストコーティング、エッチング、イオン注入、その他のマイクロエレクトロニクスプロセス用のウェーハの準備に使用できます。AMAT Centura RTPは、ロボット動作制御と特許取得済みのウェハートランスポートテクノロジーに基づいた自動ウェハハンドリングマシンを備えています。これにより、原子炉室内の各ウェーハの正確な位置決めが可能になります。このツール全体は、温度と圧力の正確なキャリブレーションを保証するために、フィードバックとモニタリングシステムを統合して、非常に信頼性の高い設計になっています。応用材料Centura RTPの原子炉室は、スチール、チタン、セラミック、アルミニウムの一連の同心層から構築されています。それは急速な熱処理のための300Wハロゲン赤外線ヒーターによって動力を与えられます。このヒーターは反応室の温度を数分以内に1000°Cまで上げることができます。このアセットには、温度を迅速かつ正確に低減する冷却モデルも装備されています。Centura RTPはPascalプログラミング言語ベースのコンピュータインターフェイスを介して動作します。これにより、反応チャンバーパラメータを正確かつ再現可能に制御できます。ユーザーは、アプリケーションの特定のニーズを満たすためにユーザー定義のプロセスを作成することもできます。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTPは、非常に信頼性が高く効率的なウェーハ処理方法を提供します。高度に自動化された装置、効率的な熱処理能力、強力なコンピュータインターフェースにより、さまざまな半導体加工アプリケーションに有効な選択肢となります。