中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura RTP XE+ #9282073 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP XE+は、半導体ウェーハの低圧、急速熱処理のためのツールです。この原子炉はRapid Thermal Cycling （RTC）を使用して、ウェーハ内の設計機能を迅速に有効化および無効化し、高性能な半導体構造を作成することができます。XE+タイプは、金属有機化学蒸着（MOCVD）システムで、以前の原子炉よりも小さなフィーチャーサイズを使用して複雑な設計を作成できるように設計されています。XE+リアクターは、超高純度のC2-F6-PF6ガスを使用して機能を正確に作成するだけでなく、複数の実行中に均一性を作成します。水平に取り付けられた熱源と超高品質のガス供給と、統合された温度制御システムにより、これまでにないレベルの精度、再現性、速度に到達することができます。これは、1000°Cまでの正確な温度を維持できる水晶加熱温度帯と、サイクリング時に温度の均一性を高めるためにウェーハと水晶引き出しを水平方向に移動させるインデックスステージによって実現されます。この急速かつ正確な加熱と冷却により、2秒以下の熱サイクルが可能になり、低熱予算の処理が可能になります。操作面では、XE+は最大2つの125mmウェーハを一度に処理でき、原子炉内のすべてのパラメータを制御する設計者と完全に自動化されています。XE+は、精密タイミング制御、不活性ガスのパージ、エンドポイントの自動検出も備えており、プロセスの精度と速度をさらに向上させます。さらに、XE+には、リアキャッチキャッチドアが閉じられてロックされている場合にのみ有効になる安全システムが装備されています。全体として、AMAT Centura RTP XE+は半導体ウェーハ上で急速な熱処理を行うための信じられないほどのツールです。堅牢な設計、精密制御、自動化された機能により、高性能な半導体デザインを作成するための真のゲームチェンジャーとなります。
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