中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura RTP XE #9238004 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP XEは、半導体およびフラットパネルディスプレイ産業における重要なプロセスアプリケーション向けに設計された、機能豊富な先進的な原子炉です。XEモデルは、大気圧、高真空チャンバー、高度なウェーハプロセスおよび温度管理装置で構成されています。この統合システムには、プロセスの効率と再現性を最適化するために設計された多数の機能が含まれています。原子炉室の内部容積は50リットルで、優れた熱及び放射熱均一性を提供するために抵抗壁材料で作られています。この原子炉には両面加熱が含まれており、1000˚Cまでのプロセス温度を均一にすることで、非常に高いスループット動作を実現したり、温度を2000˚Cする必要のある特殊な用途に使用できます。XEには窒素バイパスオプションが装備されており、高純度の窒素または他のガスでチャンバーの大気を急速にパージすることができます。また、圧力モニター、プロセスガスミキサー、ガス流量安全モニターなど、さまざまなプロセス制御オプションも含まれています。また、XEには高度なウェーハ温度管理ユニットが搭載されており、ウォームアップとプロセス操作の両方で最大限の均一性を実現します。温度管理マシンは、基板と複数のプロセスステップ間の一貫性を保証します。XEのプロセスオートメーションツールは、スループットを向上させ、ウェーハエッジ除外などのプライマリパス機能を保護するように設計されています。これには、偶発的な開口部、故障アラーム、およびクローズドループPID制御資産を防ぐためのインターロックなどの多くの安全機能が組み込まれています。これらの機能を組み合わせることで、意図しない放射線被ばくに対する高いレベルの保護が可能になります。AMAT Centura RTP XEは、さまざまな半導体およびフラットパネルディスプレイ用途に最適なツールです。高度なウェーハ温度管理モデル、プロセスオートメーション機能、幅広いオプション機能が組み合わされ、重要な作業に従事する人に最適なツールを提供します。