中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Radiance #9094639 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Radianceは、現在入手可能な最も先進的なプラズマエッチングシステムの1つです。半導体デバイスの超高アスペクト比メーカー向けに設計されたエッチングリアクターです。このリアクタは非常に汎用性の高いツールであり、単一およびマルチチャンバー構成とさまざまなエッチングプロセスを提供します。この装置は、中程度のエッチング速度でサブ100ナノメートルの解像度を達成することができます。AMAT Centura Radiance Reactorにはいくつかの機能が搭載されており、幅広いエッチング化学およびエッチング方法でチャンバーを実行できます。電子サイクロトロン共鳴（ECR）技術は非常に均一なプラズマを生成しますが、ラジカルな新技術であるビーム補助蒸着は、チャンバー内に堆積されたすべての材料が非常に均一な厚さにあることを保証します。アプライドマテリアルズCentura Radianceリアクターは、気体プラズマをチャンバーに導入し、活性化された高反応環境を作り出します。このガスプラズマは、エッチング処理に使用され、エッチングされる材料を溶解して目的のプロファイルを達成します。リアクティブイオンエッチングにより、オペレータは複数のパスを使用してエッチングの深さとプロファイルを制御でき、高エネルギープラズマはエッチング速度を増加させます。これにより、アプリケーションごとに適切なエッチング率を選択することもできます。高度な機能を備えたCentura Radianceリアクターは、高アスペクト比のオンダイ金属インターコネクトから光学試験用のナノ構造まで、幅広いエッチング用途で使用できます。このシステムは、高誘電率（k）エッチングおよびMEMS製造にも応用されています。Core AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Radiance Etch Unitは、使いやすいフロントエンドインターフェース、堅牢な真空マシン、独自のクォーツエッチングチャンバー、インテリジェントで高精度な制御ツールの4つのコンポーネントで構成されています。このコンポーネントの組み合わせは、エッチングアプリケーションのための強力なプラットフォームを作成します。また、エッチングプロセスの制御と監視には、高性能な分光計、高分解能デジタル光学資産、および化学分析機能が使用されます。AMAT Centura Radianceは、幅広いエッチング化学製品で信頼性の高い再現性のあるエッチング結果を提供します。APPLIED MATERIALS Centura Radianceは、シングルエッチングまたは両面エッチング、高アスペクト比または高プロセスの均一性、フルウェーハエッチングまたはラインパターンエッチングのいずれであっても、エッチング要件を満たすことができます。このエッチリアクターは、高性能半導体デバイスの開発において強力なツールです。