中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura PVD #9239622 を販売中
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ID: 9239622
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Sputtering system, 8"
Size: 8φ
GAMMA 2 TiN (ESC) Film formation chamber
Missing parts:
Electrostatic chucks: CH-A, CH-B
(2) Ion gauges
Seal cap
Spark generator
(2) Heater drive motors
Matcher
(2) Generators
Cool cover
SBC
Heater driver
Ion gauge ribber
3 KVP/S
Floppy disk drive (FDD)
D-I/O Board
A-I/O Board
(2) ISO/AMP Boards
Robot indexer cable 1P
CRT
NESLAB
3 KVP/S Controller
Etch hub: Rough piping between etch chambers
Etch pump: Power cable between etch chamber
Pico fuse 12 A.
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura PVD Reactorは、優れた均一性を持つ基板上に薄膜を堆積するように設計された物理蒸着(PVD)ツールです。最先端のマルチホースおよびマルチガン技術を使用して、材料の均一で超薄い層を基板に堆積させます。このツールの高い蒸着率により、半導体デバイスの製造、マイクロエレクトロニクス包装、医療機器の製造、光学コーティング成膜など、幅広い用途に適しています。AMAT Centura PVD Reactorはフットプリントが小さく、さまざまな設定や構成で使用できるように設計されています。さまざまなプロセス制御機能を備えたハイスループットマシンです。APPLIED MATERIALS Centura PVD Reactorのプロセスガス供給システムは、最適なガス流量と噴霧分布を確保し、最大化された蒸着均一性を確保するように設計されています。統合された排気システムは揮発性の効率的な通気を可能にし、堆積環境の品質と清潔さを保証します。原子炉はまた、正確な温度管理のためのクローズドループ温度制御システムを備えています。Centura PVDリアクターは、他のPVDツールと比較して優れた蒸着均一性を提供します。この原子炉は、細かく粒状化された精密な材料(金、銀、アルミニウム、チタン、ジルコニウムなど)のための優れた材料負荷と分散能力を備えており、任意の組み合わせで幅広い金属および合金を堆積することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura PVDリアクターは、基板表面の粒子の侵入を最小限に抑えるように設計されており、非常に薄い材料を処理する場合でも、一貫して滑らかで均一な堆積層を確保します。AMAT Centura PVDリアクターは、最適なプロセス制御を保証するために高度なオートメーションおよび制御技術を採用しています。内蔵のチャンバプロセス監視および制御機能により、プロセス実行全体を正確に制御できます。このツールはまた、レシピ設定を簡単かつ迅速に適応させるための自動反応チャンバー設定メニューと、時間と材料の節約を備えています。APPLIED MATERIALTS Centura PVD Reactorは、量産規模の薄膜蒸着ニーズに最適なソリューションです。優れた均一性、精密プロセス制御、信頼性の高いオートメーションにより、非常に薄く均一な層を必要とするさまざまな用途の精密フィルムを製造するために使用できます。
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