中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura NLighten NEON #9300660 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura NLighten NEONリアクターは、均一性、性能、歩留まりを向上させながら生産性とコスト削減を向上させるために設計された、次世代、高スループット、エピタキシャル蒸着およびエッチング処理システムです。Centura NLightenは、複数のチャンバーアーキテクチャを備えており、加熱基板と冷却基板の両方を備えており、チャンバの最大使用率を可能にする追加のアプリケーションに3分の1を追加することができます。これは、± 2°Cの温度均一性と± 2。5％のエッチング均一性を兼ね備えており、これにより、異なる温度でのプロセス安定性がこれまで以上に向上し、歩留まりを一貫して高く保つことができます。NLightenは、高性能で堅牢な同時蒸着およびエッチングモジュールを使用して、最高レベルのプロセス均一性を提供し、最終的に歩留まりとデバイス性能を向上させます。22インチまたは25インチの広角ビューと多水素ガス分布を備えており、蒸着およびエッチングプロセスを非常に正確に制御することで、さまざまな処理ニーズに使用できます。そのCVDクラスター部品はまた、ガソリン酸化ライナーとカスタマイズされたガス配分方法でプロセスの均一性を向上させています。高温用途では、高純度の窒素を必要とせず、2°C ±の高温安定性で優れた性能を発揮します。これによりサイクルタイムも大幅に短縮されます。AMAT Centura NLighten NEONリアクターは、システムのスループットを最大限に活用するように設計されており、1時間あたり最大200ウェーハ（WPH）の能力を備えているため、部品損傷のリスクが非常に低い大量生産に最適なツールです。応用材料Centura NLighten NEON原子炉は、エッチングおよび蒸着ニーズのための効率的で費用対効果が高く信頼性の高い実験炉を探している人にとって優れた選択肢です。多目的機能、高温安定性、大容量バッチ処理能力を備えた原子炉は、最も要求の厳しい処理アプリケーションに必要な性能と効率の完璧な組み合わせを提供します。
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