中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP #9290475 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxPは、半導体デバイスの処理と生産のために設計された高度なフレキシブルゾーンプラズマ強化化学蒸着（PECVD）原子炉です。AMAT Centura MxPリアクターは、最大6つのウェーハを同時に処理することができ、薄膜および多層スタックの製造に信頼性が高く、費用対効果の高いプラットフォームを提供します。APPLIED MATERIALTS Centura MxPは、高度なプラズマ制御、正確な温度均質性、およびオンザフライのプロセス最適化を備えており、優れたフィルムの均一性と品質を保証します。この原子炉は、SiO2、 Si3N4、 SiN、 Ta2O5、 TaN、 Al2O3など、さまざまな材料を生産することができます。この原子炉には2つの独立したプラズマ源が装備されており、複合材料組成のフィルムに多層スタックと複数のデカップリングプロセスを形成することができます。Centura MxPは複数のジオメトリを使用して、ウェーハ表面全体にわたって正確な温度均質性を確保します。リアクターの高アスペクト比により、ウェーハ表面全体に均一なエッチングと成膜が可能です。これにより、トレンチやコンビネーション構造などの高アスペクト比の特徴を均一にエッチング・成膜することができます。また、調節可能なガスフローを備えた高度な温度制御、および精度と再現性のための温度ベースの自動校正シーケンスも備えています。また、真空漏れ検知システムを搭載し、安全性と信頼性を高めています。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxPは、精密な薄膜成膜とエッチングのために、最高のプロセス信頼性、プロセス性能、およびコスト効率を提供します。これは、MEMS、高度な相互接続、および他のいくつかの困難なマイクロファブリケーションアプリケーションの製造に適しています。この原子炉の最先端の設計により、短い学習曲線とあらゆる生産設備への迅速な組み込みが可能になります。