中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP #9262650 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP Reactorは、薄膜の成膜に使用される最先端のPECVD（プラズマ強化化学蒸着）ツールです。それはさまざまな基質の形およびサイズに適用範囲の優秀な均等性を提供するように設計されています。MxPリアクターは真空チャンバー、電極アセンブリ、RF電源で構成されています。真空チャンバーは、漏れにくく設計されており、汚染を最小限に抑えた高品質の薄膜を堆積させることができます。チャンバーには、内部への損傷を防ぐために高温耐性（HTR）ライニングがあります。電極アセンブリには、調整可能な電圧と電流設定を備えた2つの平面電極が含まれており、処理パラメータの微調整を可能にします。RF電源には調整可能な周波数が含まれており、高い蒸着速度を実現します。MxPリアクターは柔軟性と信頼性を兼ね備えているため、さまざまな高精度の薄膜蒸着作業に適しています。MxPリアクターは、シリコン、ポリシリコン、窒化ケイ素、ヒ素ガリウムなど、幅広い材料を堆積することができます。原子炉の熱性能も優れており、精密な温度制御機能により、様々な形状やサイズの基板全体に均一な蒸着速度を提供します。また、MxPリアクターは優れたプラズマエッチング選択性を備えているため、基板から異なる材料を全体の構造に損傷を与えることなく均一に除去することができます。MxP Reatorのプラズマエッチング選択性は、使いやすいチャンバークリーニング装置と2チャンネルのガス昇華システムのおかげでさらに強化されています。MxPリアクターの堅牢な設計も際立っており、ステンレス製の内部チャンバーとアルミ合金製の外装が特徴です。これにより、軽量で頑丈なユニットになり、メンテナンスを最小限に抑えながら長時間の動作が可能です。また、MxPリアクターは便利な表示画面を備えており、チャンバー内の温度、圧力、プロセス条件に関する明確で読みやすい情報を提供します。便利なモニタリングユニットにより、オペレータは全体のパフォーマンスをリアルタイムで追跡することができ、高精度の薄膜蒸着タスクを確実に実行できます。結論として、AMAT Centura MxP Reactorは信頼性の高い汎用性の高いPECVDマシンであり、さまざまな基板上の薄膜の堆積に適しています。優れた熱性能とプラズマエッチング選択性を特長とし、過度のメンテナンスを必要とせずに長期運用に適した堅牢な設計となっています。便利なディスプレイ画面により、オペレータはリアルタイムで全体的なパフォーマンスを監視し、堆積プロセスを完全に制御できます。