中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP #9255443 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 9255443
ヴィンテージ: 1996
Etcher
Wide body loadlock
HP Motor
OEM-12B RF Generator
(2) MxP Chambers
Orienter chamber
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxPは、半導体、太陽電池、LED、薄膜蒸着業界の高温高圧生産プロセスで使用するために設計された原子炉です。この装置は、プロセスチャンバーとコントロールコンソールの2つの主要コンポーネントで構成されています。チャンバーは、取り外し可能なセラミックスリーブを備えたステンレススチールシリンダーであり、より高温で動作するときのより効率的な熱輸送を提供します。それは5x10-6 torrまでガス圧力および1300°C。までの温度較差を扱うことができます。セラミックスリーブは、基板の表面に堆積したフィルムを含むために使用することができます。コントロールコンソールはプロセスパラメータを制御するために使用され、ユーザーが簡単に設定を調整できるようにタッチスクリーンインターフェイスが含まれています。コントローラは、温度、圧力、組成など、チャンバー内のすべてのパラメータを監視できます。また、異なるプロセスガスをサポートし、必要に応じて追加のコンポーネントを追加できる拡張可能なモジュラー設計を備えています。AMAT Centura MxPは、化学蒸着(CVD)や原子層蒸着(ALD)などの生産蒸着プロセスが可能です。CVDは、材料を高温・高圧で基板表面に堆積させるプロセスです。ALDは、厚さと組成を正確に制御する超薄膜を作成するために使用されるプロセスです。このシステムは、エッチング、誘電体の形成、ウェハボンディングなど、さまざまなプロセスにも使用できます。単位に異なった材料およびプロセスのために調節することができる作り付けの均等性および生産の均等性制御の特徴があります。高度な診断ツールは、アラーム監視、機械校正、および最適化に使用できます。直感的なタッチスクリーンインターフェイスにより、プロセスの簡単なセットアップとスケジューリングが可能です。APPLIED MATERIALTS Centura MxPはRohs規格にも準拠しており、効率と安全性のためのエネルギースター評価を備えています。Centura MxPは、半導体、太陽電池、LED、薄膜蒸着業界の高温および高圧プロセスに使用できる効率的で信頼性の高い原子炉です。堅牢な構造、モジュール設計、直感的なタッチスクリーンインターフェイス、高度な診断ツールは、生産作業に最適な機能のほんの一部です。
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