中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP+ #9116852 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP+
ID: 9116852
Chamber system.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP+Reactor (MxP+)は、高スループット、低コスト、低メンテナンス、マルチチャンバーケミカルリアクターです。これは、酸化物、窒化物、ポリシリコン、カーボンナノチューブフィルムなど、さまざまな結晶およびアモルファス材料の処理に適しています。MxP+リアクターは、最適化された時間と温度の均一性、ドケットサイズの制御の向上、製品性能の向上など、プロセスを大幅に改善するように設計されています。高空間および高速サイクルシステムにより、最大1000個のウェーハをシングルウェーハ処理でき、各チャンバーの時間と温度を正確に制御できます。革新的で完全自動化された装置により、ウェーハをチャンバから別のチャンバに移動した場合でも、プロセスの均一性が+/-2%以内に確保されます。リアクターのマルチスクリーンブリッジ技術は頑丈で、幅広い膜厚があり、高いスループット精度を提供します。MxP+リアクターの特別な設計により、高効率で費用対効果が高くなります。モジュール式のプラグアンドプレイ設計により、簡単な設置とメンテナンスが可能です。システムも完全自動化されているため、スタッフのトレーニングを最小限に抑えて操作できます。温度および圧力安全設計を含む組み込みの安全メカニズムは、スムーズで安全な操作を可能にします。MxP+リアクタは高速で正確で信頼性が高く、さまざまな半導体アプリケーションに使用できます。堅牢な設計により、高生産性と画層の均一性を確保し、さまざまな構成で迅速かつ正確なウェーハ処理を可能にします。チャンバーセンシングによるユニットのチャンバーは、フルレンジの膜厚を測定することができます。さらに、MxP+リアクターはガス使用量が少なく、エネルギーコストの削減と運用排出量の削減を可能にします。全体として、AMAT Centura MxP+Reactorは、さまざまな半導体加工アプリケーション向けの汎用性とコスト効率に優れたソリューションです。ハイスループット、正確な制御、コスト削減、エネルギー効率、および低メンテナンスを1台の高品質の原子炉機械で提供します。
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