中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP+ #9116736 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP+リアクターは、高度なマイクロデバイスを製造するために設計された高スループットのシングルウェーハリアクターです。MxP+装置は、ユーザーが幅広いプロセスを開発し、利用することを可能にする汎用性の高いプロセスプラットフォームです。MxP+は大型のフラットベッドリアクター室を備えており、基板表面に均一な温度とプラズマ分布をもたらします。MxP+リアクタには2つのプロセスモジュールがあり、独立してまたは組み合わせて使用することができます。最初のモジュールは標準プロセス・モジュール（SPM）で、低圧化学蒸着（LPCVD）などの特徴のある蒸着技術を使用して薄膜を堆積させることができます。2つ目のモジュールはAdvanced Process Module （APM）で、より高度なプロセス機能の拡張機能を提供します。APMは、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）および原子層蒸着（ALD）に使用できます。MxP+原子炉は、シラン、酸素、アンモニアなど、さまざまなガスや反応材料で動作することができます。システムは両方のプロセスと完全に互換性があり、プロセス結果は2つのモジュール間で転送することができます。これにより、ユーザーは高品質の結果を維持しながら、プロセスをカスタマイズすることができます。MxP+は、入力ユニット、ガス排気装置、酸化防止ツール、温度監視資産など、幅広い安全機能を提供します。これらの機能は、安全な動作環境を提供し、基板の損傷や汚染を防ぐために組み合わされます。MxP+は、洗練された監視および制御技術でも設計されています。この技術により、幅広いプロセスパラメータを動的に監視および調整することができ、蒸着速度、蒸着均一性、およびチャンバー温度を正確に制御できます。AMAT Centura MxP+は、高いスループットと高品質の結果を必要とするプロセスに最適です。半導体からメモリチップ、LEDから太陽電池まで幅広い分野に最適です。幅広い厚さでの堆積が可能であり、再現性の高いナノスケールのデバイスを作成するために使用することができ、一貫して高品質の結果を保証します。