中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP #9013552 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxPは、幅広い蒸着用途向けに設計された原子炉です。材料を堆積する際の高い均一性、再現性、精度を可能にする革新的なツールです。AMAT Centura MxPは、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、メンテナンスを容易にするためのオープンなデザイン、および各顧客のニーズを満たすためのさまざまな構成を誇っています。PECVD、 ALD、 MOCVD、 eビーム蒸発などのさまざまな機能を備えているため、ユーザーは堆積とアニーリングを行うことができます。この装置は、さまざまなウェーハ径と厚さを受け入れることができるデュアルチャンバー/ウェーハローダーを備えているため、生産アプリケーションに最適です。使いやすいタッチスクリーン制御システムにより、生産性が向上し、ユーザーのダウンタイムが短縮されます。また、オプションのクラスタ構成を装備することができ、複数のユーザーが同時に複数のチャンバーにアクセスすることができます。応用材料Centura MxPは、最大850°Cの動作温度を達成することができ、石英、アルミナ、ヘマタイト、酸化ニオブなどの様々な材料の沈着プロセスとアニールの範囲を可能にします。レーザーアブレーションマシンを内蔵することで、ウェーハへの電極材料の高度なローカライズ焼結とアニーリングが可能になります。この技術は、薄膜トランジスタ、センサ、その他のフィールド依存デバイスの製造に役立ちます。運転中の安定性と安全性を確保するために、原子炉は、熱監視のためのIRカメラや反応の監視のためのRF検出ツールなど、いくつかの監視システムを備えています。原子炉には、ウェーハがチャンバー間を移動している間、不要な粒子のない環境を維持するための真空ラインもあります。全体として、Centura MxPリアクターは、材料を堆積し、アニーリングプロセスを実行するための非常に汎用性の高いツールです。さまざまな機能と技術的に高度なシステムにより、ユーザーはあらゆるバッチで一貫した結果を得ることができます。