中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP #293762513 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxPは、様々な先進的なパッケージング、半導体およびデバイス製造アプリケーションにおける誘電体、不動態化、およびバリア層の堆積のために設計された先進的な原子炉です。AMAT Centura MxPは、専用の高温シングルチャンバーリアクターで、複数のチャンバー転送を必要とせずに1つのプロセスで複数のステップを実行できます。APPLIED MATERIALTS Centura MxPの革新的な設計は、低k誘電材料の堆積、不動態層、バリア層など、幅広いプロセス能力を提供します。この原子炉は独自のマルチゾーン動作方式を備えており、各ゾーンで独立した温度と圧力制御を可能にし、より高い堆積率、効率的なコンフォーマルコーティング、複雑な構造における高品質の地形を可能にします。Centura MxPの設計は、原子炉室と独立して制御されたゾーンのモジュール設計により、高度なプロセス制御を可能にします。パルスリアクタント用の独立したチャンバにより、チャンバ内部のプロセス圧力を最適に制御できます。この原子炉は、急速な熱処理にも対応できるため、多種多様なガスとガスの混合物を用いて、最大850°Cの温度で基板を迅速に熱処理することができます。この急速な熱機能により、誘電体とバリア層の急速な蒸着とアニールが可能になり、プロセス時間の短縮と歩留まりの改善が可能になります。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxPは、高ろ過性のパージガスを備えた最先端の排気システムを備えており、クリーンで超低粒子蒸着を保証します。AMAT Centura MxPの統合されたリモート監視および制御機能により、プロセス制御システムとオートメーションプラットフォームに簡単に統合できます。APPLIED MATERIALS Centura MxPはスタンドアロンのプロセスプラットフォームでもあり、外部システムを追加する必要なく、プロセスのロード、監視、制御を行うことができます。さらに、原子炉は、さまざまな原子炉室のサイズとオプションが用意されているため、システムを特定のニーズに合わせて調整することができます。全体として、Centura MxPは、より高い沈着速度、超低粒子沈着、およびより高速なプロセス時間を必要とするアプリケーション向けに設計された先進的なシングルチャンバーリアクターです。この原子炉は、マルチゾーン制御、急速な熱処理、クリーンな排気、制御システムへの容易な統合を備えています。