中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP #293750251 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 293750251
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Poly etcher, 8"
Orienter chamber: Hoop type: STD
Chamber wall flow sensor
Chamber cathode flow sensor
Chamber turbo pump flow sensor
No SMIF
EMO Switch type
EMO Guard ring
Chamber type:
Position A: Poly
Position B: Poly
Position F: Orienter
Load lock storage elevator:
Set stage mechanism: Up and down movement
Poly etch chamber:
Manometer type: 1 Torr
Throttling valve assy
Chamber O-rings: Viton
ENI OEM-12B RF Generator
BOC EDWARDS / SEIKO SEIKI STP-301 Turbo pump
BOC EDWARDS / SEIKO SEIKI Turbo pump controller
QUARTZ Endpoint window
Gas panel:
Gas panel doors: Solid
Top exhaust
No single line drop
Top single line drop gas line feed
SLD Fitting type: VCR
FUJIKIN Veriflow valve
MILLIPORE Ni 10 Ra Filter
AERA FC-780C Mass Flow Controller (MFC)
Gas configuration: Chamber A and B
Gas / Size
HBr / 100 SCCM
Cl2 / 100 SCCM
SF6 / 100 SCCM
CF4 / 50 SCCM
HeO2 / 10 SCCM
HeO2 / 100 SCCM
Power supply: 200/208 VAC, 60 Hz
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxPは、高品質な集積回路の製造を可能にする汎用性の高いフル機能のエッチング炉です。酸化物、金属、高分子などの困難な材料をミクロン、ナノメートルのレベルで正確にエッチングするように設計されています。エッチングプロセスは、正確なフィーチャーとレイヤー定義の要求に正確に対応するために調整することができます。AMAT Centura MxPは、高いレベルのプロセス性能とプロセス制御を備えています。完全に自動化されたプロセス制御装置には、温度、RFインピーダンス、圧力監視が含まれます。これは、高品質の結果を確保するのに役立ちます。さらに、このシステムは、酸化、ナノ薄膜形成、エッチング過程の精密な制御を提供します。APPLIED MATERIALTS Centura MxPは、精密なエッチングチャンバー、電磁界、焦点イオンビーム技術を提供します。これにより、非常に小さなフィーチャーサイズとタイトな公差で高精度なエッチングが可能になります。さらに、マルチステッププラズマ処理、薄膜成膜、プラズマスパッタリングなど、絶えず変化するエッチングプロセスの要求に応えるカスタマイズが可能です。Centura MxPは、最先端の高性能製造のために設計された、効率的で高度なエッチング機です。効率的で忠実度の高いRFツールは、厳しい公差と効率的な操作を可能にしますが、革新的な設計により、多数のアプリケーションのニーズに合わせて容易にカスタマイズできるモジュラー資産を保証します。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxPは、すべてのイオンが正確に検出され、処理されることを保証するために、精密静電気、ファラデー、イオントラップも備えています。この高度なイオントラップとフィーチャー定義モデルは、均一性と精度を向上させ、最大生産歩留まりを保証し、最終的に所有コストを削減します。信頼性と堅牢性に優れたAMAT Centura MxPは、優れたエッチング結果を可能な限り最高品質で提供するために設計された包括的なエッチングモデルです。APPLIED MATERIALS Centura MxPは、高度なプロセス、高精度イオントラップ、機能定義モデルにより、厳しい公差と高性能な結果を必要とするエッチングプロジェクトに最適です。
まだレビューはありません