中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP #293600168 を販売中
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ID: 293600168
ウェーハサイズ: 8"
Oxide etcher, 8"
(1) DPS chamber
(1) RPS chamber
(2) MxP chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP Reactorは、幅広い高性能エッチング、成膜、クリーンプロセスを単一の汎用機器に統合するために独自に設計された高度なエッチング/成膜ツールです。半導体、ディスクドライブコンポーネント、薄膜エレクトロニクスなど、さまざまなウエハ加工用途に使用されています。AMAT Centura MxPの主な特徴は、エッチングや成膜などのウェーハ処理技術を単一の統合プラットフォームに統合したオールインワン構成です。この設計により、高いレベルの柔軟性と制御が可能になり、幅広い素材やレイアウトを迅速かつ正確に処理することができます。さらに、この構成により、複数のオプションと構成が利用可能な複数の設計選択が可能になります。APPLIED MATERIALS Centura MxPは、小規模および大規模プロセスの両方に対応するように設計されており、大量生産環境に最適です。高度なマルチゾーンプラズマエッチングシステムにより、高い均一性を実現し、酸化物エッチング、薄膜成膜、フライス加工などのプロセスをウェーハ表面全体で一貫して実行できます。また、ウェーハ上の蒸着ユニットを搭載し、蒸着プロセスと材料品質を制御および監視します。MxPマシンには高度な測定機能が搭載されており、エッチングおよび蒸着プロセスのリアルタイム監視が可能です。これは、最大限の品質管理とプロセスの最適化を保証するのに役立ちます。このツールは、データ収集と分析を可能にする統合されたデータキャプチャおよびロギング機能も提供します。Centura MxPの大きな利点は、高度なオートメーション機能です。その洗練されたロボットシステムは、柔軟で自動化されたウェーハ処理と簡単なプログラム設定を可能にするように設計されており、ユーザーはアプリケーションの特定のニーズを満たすためにレシピとプロセスを完全にカスタマイズすることができます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxPは高度なオールインワンエッチングおよび成膜アセットであり、さまざまな材料やレイアウトを迅速かつ正確に処理できます。高い柔軟性と制御性、高度なオートメーション機能、統合されたデータキャプチャおよびロギング機能により、大量の本番環境に最適です。
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