中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP+ #201320 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP+原子炉は、高性能コーティング、フィルム、薄膜を製造するために使用される先進的なプラズマプロセス原子炉です。MxP+装置は普遍的な電源、窒化ケイ素の基質およびタレット型の低圧島のマスクを結合します。AMAT Centura MxP+リアクターには、最大300Wの電力を供給する制御可能なユニバーサル電源が含まれています。これにより、プラズマの流量と基板の温度を制御し、堆積リスクを低減することができます。この電源は、プロセスを最適化するために、アルゴン、酸素、窒素、ヘリウムなどの低流量電圧とさまざまなプロセスガスをサポートするように設計されています。このシステムには、各プロセスパラメータをリアルタイムで監視するための堅牢な制御ユニットも含まれています。MxP+リアクターは、ボンドラインの低い圧力でも、ウェーハ全体に優れた均一性を提供する頑丈な窒化シリコン基板ホルダー機械を備えています。窒化ケイ素の基質のホールダーに表面損傷なしで基質がしっかり保たれるように設計されている低圧島のマスクのタレットがあります。このタレットツールはユーザーフレンドリーで使いやすく、処理の柔軟性の大きな窓を提供します。MxP+リアクターは、高純度の石英シャワーヘッドチャンバーも備えています。このチャンバーは低圧環境を備えており、幅広いフィルムエッチングおよび成膜用途において均一で安定したプロセスを維持するのに役立ちます。この原子炉には、温度とプロセス制御の均一性を確保するための冷却資産とチャンバーガス分布モデルもあります。MxP+リアクターは、薄膜、複合半導体フィルム、多層膜、表面活性化された高アスペクト比スタックなど、さまざまな用途に使用される信頼性の高い汎用性の高いプラズマプロセスツールです。柔軟な電源、均一な基板ホルダー、高度なプロセス制御システムを備えたMxP+は、高度なフィルム生産に最適です。