中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MCVD #293792249 を販売中
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ID: 293792249
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
System, 8"
Wafer type: SNNF
(4) WCVD Chambers
Chuck type: Susceptor
Robot type: HP
Controller rack
Gas box: Seriplex
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MCVD Reactorは、カスタマイズされた光ファイバーの製造に使用される最先端の機械です。このメニスカス型化学蒸着(CVD)原子炉は、シリカ、ゲルマニア、アルミナ、およびその他の修飾材料を含む複数の成分の蒸着用に設計されています。原子炉には、原料用の3つのるつぼと、3つの高強度セラミックロッドを備えたホットゾーンが含まれています。これらのロッドはそれぞれ独立して加熱され、繊維の表面全体にわたって温度と堆積の均一性を正確に制御することができます。原子炉には独特のメニスカス堆積ジオメトリがあり、気化された原料をるつぼから石英の出口の円錐形に引き上げます。これは、プラズマ場のドリフトの影響と他の反応系で発生する可能性のある汚染物質の存在を最小限に抑えるのに役立ちます。また、各種ドーパントの搭載も可能で、低損失・シングルモード光ファイバの製造が可能です。AMAT Centura MCVDのホットゾーンは、簡単な清掃とシステムのメンテナンスを可能にするドアの後ろから簡単にアクセスできます。この原子炉は、放射加熱、プラズマ生成、光放射監視などの基板照明を正確に制御するための高度な光学系を持っています。complied APPLIED MATERIALTS Centura MCVDユニットには、プレフォーム棒を装填および非負荷するロボット、ヘリウムベースのガス供給機、リアクタントを正確に制御するためのマルチチャンネル質量流量計が含まれています。ツールを制御するソフトウェアはユーザーフレンドリーであり、リモート監視と制御のためのネットワークアクセスを可能にします。このアセットには、レーザー火災検知を可能にする安全モデルも内蔵されており、光学セルを偶発的な損傷から保護します。Centura MCVD Reactorは、特殊な光ファイバを製造するための強力なツールであり、ユーザーは損失を最小限に抑え、優れた光学品質で正確なシングルモードファイバを作成できます。メニスカス蒸着ジオメトリを備えた原子炉のユニークな設計は、繊維の表面全体にわたる蒸着の均一性を確保しながら、汚染物質の存在を最小限に抑えるのに役立ちます。機器の高度な光学部品と自動化された部品は、ユーザーにプロセスを正確に制御し、信頼性の高い一貫した結果を保証します。
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