中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura IPS #9204133 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura IPSは、集積回路の大量製造用に設計されたマルチウェーハ生産装置です。革新的な材料と技術を取り入れた次世代システムで、高度なプロセス制御、信頼性、スループットを提供します。IPSには、200mmおよび300mmウェーハの効率的な取り扱いのための複数のシングルウェーハ転送モジュールが装備されており、1時間あたり最大500ウェーハを処理できます。IPSは、デバイス製造に使用されるものを含む、複数の大容量プロセスステップの厳しい要件を満たすように設計されており、単一のチャンバーで複数のチャンバーレシピを実行する機能を備えています。このユニットは、ユーザーが切り替え時間なしで1つのプロセスから次のプロセスへシームレスに移行できるように独自に設計されています。オンザフライチャンバーのスイッチングを提供し、ユーザーは2つ以上のウェーハを同時に独立して処理できます。IPSには、再現性と一貫したプロセス結果を保証するための高度な制御システムも装備されています。基板バイアス制御、温度監視と制御、オンザフライレシピの変更、集中制御プロセスレシピなどの機能を備えたIPSは、ユーザーにプロセスフローを最適化する機能を提供します。また、IPSは、先進的な半導体デバイスの低コスト製造を可能にします。これは、SOI、 MEMS、 FinFET、 TSVなどの高度なデバイスの高収量の製造のための自動化されたプロセスを提供します。また、ひずみゲージ、MEMSマイクロホン、圧力センサ、加速度センサなどの特殊なデバイスも製造可能です。IPSは、大容量ユーザーと小容量ユーザーの両方のニーズを満たすように設計されています。インストールと構成が簡単で、高度に自動化された製造環境で迅速に導入できます。その高度なグラフィカルインターフェイスは、使用されるプロセスと材料の可視性とトレーサビリティを向上させます。また、ウェーハやチャンバーの監視も可能で、ユーザーはプロセス中の不規則性をすばやく検出して対処することができます。AMAT Centura IPSは、大量の半導体生産のための包括的なソリューションを提供します。最適化されたプロセス制御、信頼性、およびスループットと高度な技術を組み合わせることで、高度なデバイスの低コストで大量生産を可能にします。