中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura IPS #293761026 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura IPSは、半導体製造プロセス向けに設計された革新的なタイプの原子炉です。IPSは、Epsilon 02-3 Fusion™ガスデリバリーと統合ウェーハ加熱を備えたシングルウェーハ装置であり、精密半導体製造のためのプロセス制御およびオートメーションプラットフォームと組み合わされています。IPSは、さまざまな高性能プロセスを達成するために協力するいくつかの個々のコンポーネントで構成されています。IPSの主な構成要素は、400メガワットのRF発電機を備えた封じられた熱室であり、急速な温度と圧力アークが可能です。この熱室内には、独自のガス入口と出口ポートを特別に設計したガス供給システムがあります。また、高純度、低抵抗の大気環境を実現し、高性能半導体材料の加工に最適です。IPSはまた、ガス噴射ポートフォリオ、ホットワイヤー加熱、自動光学センシングを備えた高性能のEndura IX+電源プラットフォームを備えています。これにより、処理速度の高速化とプロセス制御の向上が可能になります。イオン注入の均一性を促進するために、さまざまな精密位置決め段階が含まれています。IPSはPLCベースのオートメーションユニットによって駆動され、プロセスを細かく制御し、レシピのプログラミングの柔軟性を高め、プロセスをリアルタイムで監視および調整することができます。さらに、IPSにはさまざまな計測ツールが装備されているため、プロセスの進捗状況を監視し、さまざまな校正タスクを処理することができます。AMAT Centura IPSは、さまざまな材料に対応できるだけでなく、より高い安全基準に基づいて設計された効率的でユーザーフレンドリーな機械です。プロセス性能を向上させ、製品品質を向上させながら、比類のないレベルの精度と精度を提供するように設計されています。