中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura IPS #293761025 を販売中

ID: 293761025
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
System, 8" 1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura IPS (Integrated Process Equipment)は、高度なポリマー基板の大量生産に使用するために設計されたポリマーリアクターです。このシステムは、最終製品のコストを最小限に抑え、歩留まりを最適化するために、基板を急速にサイクルするように最適化されています。IPSは、リアクタント配送ユニット、生産プロセスモジュール、環境制御モジュールの3つの統合モジュールで構成されています。リアクタント配送機は、所定のリアクタント溶液を指定された速度と量で正確かつ正確に配送するように設計されています。このツールは、一連のポンプ、バルブ、およびコンピュータ制御システムで構成されています。ポンプは調節可能であるように設計されており、特定のリアクタント比を正確に設定して監視することができます。バルブは、反応チャンバにチャネルを開閉するために使用され、正確なフロー制御を可能にし、資産の断面を互いに分離します。生産プロセスモジュールは、IPSモデルのコアであり、化学反応プロセスに使用されます。このモジュールには、予測可能で安定した反応環境を実現するために熱愛性原理を使用する反応チャンバーが装備されています。反応室はまた使用される基質材料および反応剤の完全性を保護するために不活性ガスの周囲に囲まれています。さらに、IPSのプロセスモジュールには、反応表面面積を最大化するために特別に設計された攪拌機構が装備されており、高品質の製品を保証します。装置の最後のモジュール、環境制御モジュールは、オペレータが温度、圧力および流量のような主要な環境変数を監視し、調節することを可能にします。また、環境制御モジュールは、生産をオペレータが介入することなく、さまざまな構成やプロセスパラメータに適合させることができる自動温度パラメータを提供します。これらの統合モジュールはすべて、高収率と低コストで高度なポリマー基板の生産を提供する容易にアクセス可能なシステムを作成するために一緒に来る。作り付けの反作用剤の配達単位は精密な反作用剤の混合物制御を可能にし、従って予測可能で、反復可能な反応の結果。反応チャンバーと攪拌機構は、高品質の製品を提供するために設計されており、環境制御モジュールは、プロセスパラメータ制御と最適化を可能にします。AMAT Centura IPSは、量産アプリケーションでテストされ、信頼性が証明された無敵のポリマーリアクター機械です。
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