中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II #9137520 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura IIは、化学蒸着（CVD）、化学機械平坦化（CMP）、原子層エッチング（ALE）用途向けに特別に設計された原子炉です。半導体デバイスの製造・精製に化学・機械プロセスを活用したシングルウエハ加工装置です。強力な4。5kW発電機を搭載し、高い蒸着速度と高精度エッチングが可能です。AMAT Centura IIには独自のマルチチャンバー設計が組み込まれており、各チャンバーの独立した制御を可能にし、最大6 Torrのチャンバー圧力を備えています。このユニットには、プロセス全体にわたって一貫したガス混合物を保証する特許取得済みのガス供給機も含まれています。APPLIED MATERIALTS CENTURA-IIリアクタのチャンバーサイズは、ユーザーのニーズに応じて、50mmチャンバーから500mmチャンバーまでの範囲で使用できます。温度制御ウェーハピロメータ、速度制御回転およびジョギングステージ、エンドポイント検出など、さまざまな高度な機能を備えています。この精密制御と精度により、高精度で再現性の高いプロセスを実現します。AMAT CENTURA-IIリアクターは、ランニングツーランプロセス制御機能を備えた自動プロセスを可能にするように設計されており、大量生産に適しています。これは、centuraラボシステムで使用されていた同じ真空技術とハードウェアに基づいており、ラボから生産へのスケーラビリティと移行を可能にします。プロセス安全のために、CENTURA-IIリアクターには、圧力、温度、ガス分布などの主要な動作パラメータの監視と制御を提供する診断ツールが内蔵されています。このアセットには、モデル状態とコントローラパラメータを遠隔で表示するための高度な監視ディスプレイも含まれています。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA-IIは、幅広いCVD、 CMP、 ALEアプリケーションに適した汎用性、信頼性、強力な原子炉装置です。特許取得済みの機能と高度な制御機能を備えたAPPLIED MATERIALS Centura IIは、半導体デバイス製造にとって貴重なツールです。