中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II eMax #9260047 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 9260047
System, 8"
Model: Centura 5200 I
(3) Chambers
Mainframe: Centura 5200 I PH2
Loadlock: Wide body
SBC: V452
Robot: VHP+
Loadlock features:
Body loadlock: Wide body
Slit valve door O-ring: Viton
UNIVERSAL Wafer / Cassette sensors
Manual lid hoist
Helium cooling: MKS 649
Gas panel type: Seriplex
MFC Type: Unit 8160
No dummy wafer storage
Chambers A, B and C: eMax
Gate valve: VAT
Manometer: MKS 1 Torr
Chuck: Ceramic ESC
ALCATEL ATH 1600 Turbo pump
ALCATEL ACT 1300 M Turbo pump controller
RF Match box: 0010-30686
ENI OEM 28B RF Generator
Endpoint type: Hotpack
Chamber F: ORIENT
Power supply: 208 VAC, 50/60 Hz.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II eMaxリアクターは、半導体製造に使用される高温高圧プロセスチャンバーです。完全な機器は、統合された熱交換器と圧力制御システム、高純度ガス供給、超高真空(UHV)環境、およびその場での計測ツールのスイートで構成されています。AMAT Centura II eMax原子炉は、プロセス制御と再現性に優れた設計で、最先端の多層半導体デバイスの信頼性の高い製造を可能にします。APPLIED MATERIALTS Centura II eMaxの中心には、より高い温度、より高い圧力プロセスチャンバーがあります。このチャンバーは、900°Cまでの温度が可能で、1つの大気までの圧力が含まれています。効率的な設計と高度な電力/電気構成により、Centura II eMaxは急速に加熱または冷却することができ、効率的なサイクルタイムを実現します。さらに、プロセスチャンバーはセルフモニタリングされ、プロセス温度と圧力のリアルタイム表示を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALTS Centura II eMaxは、高度な熱交換器と圧力制御ユニットを備えています。この統合されたマシンは、独自のリソグラフィープロセスに応じてプロセスチャンバーの温度と圧力をインテリジェントに調整します。このツールは、製造されている半導体層に関係なく、プロセスチャンバーが正確に調整されることを保証します。また、外付け部品の追加が不要なため、統合資産によりコストを削減できます。AMAT Centura II eMaxには、CVD(化学蒸着)などの高純度ガス供給が含まれています。これらは、原料ガスを含み、排気/浄化システムが利用可能です。これにより、ユーザーはさまざまな半導体ニーズに対応する幅広い材料化学製品を作成できます。アプライドマテリアルズCentura II eMaxは、最高のプロセス純度を提供する超高真空(UHV)環境を備えています。このUHV環境は、揮発性粒子、汚染物質、またはガスが半導体ウェーハの性能や品質を損なわないようにします。さらに、UHV環境は、特定の粒子やガスをチャンバーから簡単に取り除くことができるため、汚染の低減にも役立ちます。in-situ計測の面では、Centura II eMaxはライン機能のトップを提供します。これには、ウェーハの材料蒸着速度とプロファイルを監視する機能、および処理中のデバイス性能を監視する機能が含まれます。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II eMaxは、異なる材料の膜厚を測定し、高度なレシピ制御を使用してチャンバー条件を自動的に調整し、作成されるさまざまなレイヤーを視覚化する機能も提供します。AMAT Centura II eMaxモデルは、高度な半導体製造のために設計されたラインリアクターのトップです。そのパワフルで高度な機能により、高性能な半導体ウェーハを正確かつ再現可能に処理できます。これは、高度なプロセスチャンバー、統合された熱交換器/圧力制御装置、高純度ガス供給、超高真空環境、およびin-situ計測ツールのスイートで達成されます。
まだレビューはありません