中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II eMax #9247556 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II eMaxリアクターは、薄膜構造の小規模生産のための次世代成膜ツールです。半導体デバイスの製造および材料分析用に設計されています。このツールは、高温および圧力機能を備えた最先端のプロセスチャンバーを備えています。20nmまでの精度と精度で、高度な成膜プロセス性能を発揮します。AMAT Centura II eMaxには、自動化されたシングルウェーハとデュアルウェーハ（完全なウェーハArF）ローディング装置が装備されています。高性能ペダルベッドに素早く取り付けられるコンポーネントです。ウェーハベッドは、磁気駆動のエッジフランジに対して回転してロックし、堆積チャンバに転送されます。これは、熱性能と安定性を向上させるための高度なサセプタサスペンションと、電子サイクロトロン共鳴などの高度な蒸着技術を備えています。アプライドマテリアルズCentura II eMaxは、幅広いプロセス制御システムも備えています。これには、圧力と温度を制御するための統合システムと、質量分析計を内蔵したアクティブプラズマ監視が含まれます。このユニットは、ウェーハ全体に均一な堆積を確保するために、堆積チャンバー壁のためのマルチグランドトレーシング監視機を備えています。Centura II eMax原子炉には、さまざまな安全機能が含まれています。それは多数の安全遮断センサー、自動圧力および温度警報および統合された基づいているシステムが装備されています。また、完全に自動化されたウェーハクリーニングプロセスを備えており、デバイスのパフォーマンスを安定させることができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II eMaxは、小規模生産のための信頼性の高い、費用対効果の高い成膜ツールです。半導体デバイス製造、半導体材料研究、複合構造物の薄膜沈着に最適です。このツールは、プロセス最適化のための高性能と精度、および精密蒸着のためのさまざまなプロセス制御オプションで提供されます。