中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II eMax #293697178 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II eMaxは、先端材料の製造に使用する高性能の原子炉装置です。このシステムには、従来のCVDリアクタ技術とPECVD（プラズマ強化CVD）技術の両方の利点を組み合わせた、特許取得済みのeMaxクラスタツール原子炉が搭載されており、高性能な薄膜蒸着を提供します。その結果、この原子炉は、多種多様な複雑な蒸着プロセスにおいて、高いスループット、優れた再現性、および非常に均一なフィルム品質に到達することができます。AMAT Centura II eMaxはモジュール式の設計で、ユーザーはユニットに最大15個のプロセスモジュールを追加できます。この追加のプロセス機能により、1台のモジュラーリアクターで幅広いプロセスが可能になります。例えば、窒化、不動態化、アニーリングは可能なプロセスです。さらに、APPLIED MATERIALTS Centura II eMaxは、自己整列高速基板回転、ショットピーニング、マルチステーション処理などの高度な基板制御機能を提供します。これらの特長により、最も難易度の高い基板でも厚みの均一性が向上し、高品質な薄膜構造の迅速な生産が可能となります。さらに、このツールには高度なマルチゾーン加熱アセットが装備されており、幅広い熱支援を可能にします。複数のゾーンをプログラムして監視し、正確な加熱制御を保証することができます。この温度制御により、誘電成膜、フォトマスク処理、エッチングなどのプロセスを容易にすることができます。Centura II eMaxは、アルゴン、窒素、酸素、水素などのさまざまなガスを供給できる強力なガス供給モデルも備えています。これにより、原子炉内の化学反応を精密に制御することができ、制御性の高い均一な薄膜構造が得られます。さらに、この装置はエネルギー効率が高く、すべての規制基準に準拠しているため、基板製造業務に最適です。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II eMaxは、広範囲のユニークな機能と機能を提供する高性能リアクターシステムです。堅牢な設計、高度な基板制御機能、優れたプロセス機能を備えたこのユニットは、蒸着プロセス用の信頼性の高い高性能マシンを求める製造者に最適です。