中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II DPS+ #9212833 を販売中
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販売された
ID: 9212833
ウェーハサイズ: 8"
Metal etcher, 8"
Loadlock: Wide
Robot: VHP+
Position A: Metal DPS+
Position B: Metal DPS+
Position C: ASP+
Position D: ASP+
Position E: Fast cooldown
Position F: Orienter
Chamber A / B:
Process application: DPS+
Upper chamber body anodizing
Electrostatic chuck type: Polymide
SEIKO SEIKI STPH 1303C Turbo pump
DTCU: E-EDTU
Endpoint type: Monochromator
Bias generator: OEM 12B (-08)
Bias match: 0010-36408
Source generator: ENI GMW-25A, 2500W
Throttle valve & gate valve: VAT TGV
Chamber C / D:
Process kit: Chuck
Auto tuner: Smart match 3750-01106
Magnetron head: 0190-09769
Generator: ASTEX AX2115
Process control: Manometer
Gas box:
VDS Type: 750 SCCM
IHC Module: MKS 649
Transfer chamber options
Transfer chamber manual lid hoist
Robot type: VHP+
Cable: Umbrical
Length: 55 Ft.
APPLIED MATERIALTS Centura II DPS+は、従来モデルと比較して制御と精度を向上させるために開発された高度な自動半導体プロセス炉です。この高速炉は、ナノチャンネル回路や構造物を含むウエハを正確かつ迅速にエッチングするとともに、迅速なスパッタ蒸着およびリフトオフ動作を行うように設計されています。この原子炉には、デジタルスキャンステージ、十分に設計されたマイクロプロセッサ制御装置、および薄膜製品の非常に精密な原子化された配送と蒸着を可能にする2段階のガス供給システムが装備されています。Centura II DPS+は、3 リージョンRFバイアスモジュールを備えており、エッチング、スパッタリング、成膜操作においてユーザーにハイエンドの均一性を提供するように設計されています。この優れた均一性により、時間とコストを大幅に削減し、最適な製品仕様を実現します。APPLIED MATERIALS Centura II DPS+は、ケミカルデリバリーポンプユニットとポンプユニットを一体化し、プロセス最適化のためのガス消費量を正確に制御することができます。Centura II DPS+のデジタルスキャンステージは、最新のデータ統合および製品トラッキングツールを備えた、高速で自動化された再現性のあるウェーハ処理環境を提供します。さらに、最近ではラジアルベクタースキャンを可能にするために開発され、ウェハ形状条件を改善しながらスループットを向上させています。APPLIED MATERIALS Centura II DPS+のマイクロプロセッサ制御ツールは、自動温度制御、スキャン速度制御、プログラムスケジューリング、コマンド統合など、さまざまな強力な機能をユーザーに提供します。さらに、このアセットは、調整可能なガス濃度レベル、プロセスレシピの微調整、効率的なサイクルタイムの最適化など、さまざまなカスタマイズ可能な機能をユーザーに提供します。Centura II DPS+の高度な機械設計により、振動励起が非常に低く、電気漏れが少ないため、正確で長時間の動作が保証されます。また、不活性ガスシールド封じ込め装置や窒素回路技術により、製品寿命が延びています。APPLIED MATERIALTS Centura II DPS+の優れた機能により、このシステムのユーザーは、ランニングごとに優れた精度と精度を享受し、品質や効率を犠牲にすることなく生産プロセスを最適化することができます。
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