中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II DPS+ #9202744 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II DPS+は、生産用に設計された高度なプラズマ処理システムです。このマルチチャンバー、3ステーションリアクターは、堆積、エッチング、ソースチャンバー機能のための全体的なコンパクトなパッケージで最大の機能を提供します。AMAT Centura II DPS+リアクタは、コスト効率の高い生産性と均一性を実現するために最適化されており、スループットとプロセス制御が向上します。APPLIED MATERIALTS Centura II DPS+のEMSチャンバーは、異なる基板上の半導体エピタキシャル蒸着用に設計されています。それはケイ素ゲルマニウム、GaN、ダイヤモンドおよびカーボンナノチューブのようなさまざまな適用で使用されます。この原子炉には、高い沈着率と優れた均一性を提供するワイドエネルギー帯域幅るつぼが含まれています。さらに、内蔵のオートスキャン機能により、ユーザーは最大5つのレシピをプログラムできます。Centura II DPS+のEOSチャンバは、汎用性の高いエッチングシステムです。金属、半導体のエッチングなど、ウェット、ドライ、ハイブリッド加工技術に対応しています。このチャンバーには、電力、圧力、温度、流量などの複数のエッチングパラメータの精密制御が装備されています。このシステムは、プロセスの柔軟性と均一性を最大限に高めるように設計されており、異なる基板および基板サイズを可能にします。最後に、AMAT/APPLIED MATERIALTS Centura II DPS+のソースチャンバーは、堆積前駆体の信頼性の高いソースを提供します。様々な気化材料に対応できるよう設計された大容量ロータリーバルブを備えています。チャンバーはまた、非常に低い動的圧力で高速な再活性化速度を備えています。これらの機能は、プロセスの安定性を飛躍的に向上させます。全体として、AMAT Centura II DPS+リアクターは、生産に最適な信頼性と強力なツールです。強力なマルチチャンバー、3ステーション設計により、熱およびチャンバーの均一性の向上と最大スループットの恩恵を受けることができます。この原子炉は、複数のパラメータを精密に制御することで、異なる堆積、エッチング、ソースプロセスを処理できるため、製造ニーズに最適です。