中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II DPS #9182836 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II DPS Reactorは、リン酸インジウム（InP）およびその合金などのIII-V材料を堆積するように設計された可変圧力エピタキシー（VPE）チャンバーです。70°C〜3000°Cの温度範囲を持つ「ホットニュートラル冷却」ソースを備えているため、高温と低温の両方の蒸着技術に適しています。また、先進的な自動ウェーハ交換装置を備えており、ウェーハの積み込みとアンロードを容易にしています。最大200mmのサセプタサイズで、幅広いパターンで複雑な構造物を堆積させることができます。チャンバー自体は21 "x26" x25"で、最大動作圧力は3 Torr範囲です。また、100Wまでの窒化物蒸着のためのプラズマ発生器も含まれています。高度なガス混合システムにより、ガス消費量を正確に制御でき、材料ドーパント濃度を高精度に制御できます。パラメーター設定が簡単な直感的なユーザーインターフェイスと、現在の状況を表示してレシピを保存するタッチスクリーンディスプレイ付きのオンボードコンピュータを備えています。沈着のために、AMAT Centura II DPSリアクターは液体または蒸気供給機のいずれかを使用できます。液体供給ツールは、計量アセットと温度コントローラを使用して材料の流れを正確に制御します。蒸気配達モデルは、材料を所望の温度に保つ加熱配送ラインとポンプを備えています。APPLIED MATERIALS Centura II DPS Reactorには、偶発的な圧力スパイクの前にチャンバーを避難させるクイックリリース装置や内蔵の消火システムなど、高度な安全システムも備えています。高度なシステムを組み合わせたCentura II DPS Reactorは、複雑な堆積作業に最適です。